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田博

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇立式炉
  • 2篇电力
  • 2篇电力控制
  • 2篇电力控制系统
  • 2篇升温速率
  • 2篇前馈
  • 2篇前馈补偿
  • 2篇系统功率
  • 2篇可控硅模块
  • 2篇计算功率
  • 2篇功率
  • 2篇功率补偿
  • 2篇半导体
  • 2篇补偿方法
  • 1篇电压
  • 1篇电压信号
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇信号处理模块
  • 1篇氧化炉

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇徐冬
  • 6篇王艾
  • 6篇田博
  • 3篇陈亚
  • 2篇赵燕平
  • 2篇董金卫
  • 1篇孙少东

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
立式炉冷却控制系统及方法
本发明公开了一种立式炉冷却控制系统及方法，涉及半导体热反应工艺设备温度控制技术领域。该系统包括：感温模块，用于感测立式炉反应室上测温点的温度，并将感测到的温度电压信号发送至信号处理模块；信号处理模块，将温度电压信号转换为...
徐冬董金卫赵燕平王艾田博
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半导体热处理工艺温度前馈补偿方法
本发明公开了一种半导体热处理工艺温度前馈补偿方法，包括：若当前实际温度与目标温度之间的差值不小于第一设定值，则根据目标温度的升温速率调整补偿输出的给定温度，使给定温度大于目标温度，消除实际温度相对于目标温度的滞后；若当前...
田博徐冬王艾
半导体热处理工艺温度前馈补偿方法
本发明公开了一种半导体热处理工艺温度前馈补偿方法，包括：若当前实际温度与目标温度之间的差值不小于第一设定值，则根据目标温度的升温速率调整补偿输出的给定温度，使给定温度大于目标温度，消除实际温度相对于目标温度的滞后；若当前...
田博徐冬王艾
文献传递
电力控制系统及包含其的立式炉加热设备
本发明公开了一种电力控制系统及包含其的立式炉加热设备，该电力控制系统包括：成环形依次连接的功率检测模块、功率补偿控制模块、控制信号输出模块、可控硅模块和电力模块；功率检测模块，用于检测电力模块供给的电压值和电流值，计算功...
徐冬田博王艾陈亚
基于模型高精度立式氧化炉温度控制系统技术研发与应用
徐冬董金卫赵燕平孙少东王艾田博陈亚
该项目以市场为导向，以创新为动力，以产品和技术革新为突破口进行创新发展；产、学、研、用相结合，在国家重大专项方针的指引下，重点对300mm立式氧化炉进行技术攻关。项目进行过程中，对关键工艺进行研究，攻克各个技术难点，突破...
关键词：
关键词：氧化炉温度控制系统
电力控制系统及包含其的立式炉加热设备
本发明公开了一种电力控制系统及包含其的立式炉加热设备，该电力控制系统包括：成环形依次连接的功率检测模块、功率补偿控制模块、控制信号输出模块、可控硅模块和电力模块；功率检测模块，用于检测电力模块供给的电压值和电流值，计算功...
徐冬田博王艾陈亚
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