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赵燕平

作品数：45 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺医药卫生文化科学水利工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 44篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇冶金工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇水利工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 21篇立式
  • 20篇炉体
  • 17篇半导体
  • 11篇立式炉
  • 7篇晶片
  • 6篇热处理炉
  • 6篇螺钉
  • 5篇密封
  • 5篇半导体工艺
  • 4篇热偶
  • 4篇保温
  • 4篇测温
  • 3篇挡板
  • 3篇电偶
  • 3篇压块
  • 3篇摇摆
  • 3篇翼板
  • 3篇圆台
  • 3篇排气
  • 3篇气压驱动

机构

  • 45篇北京七星华创...

作者

  • 45篇赵燕平
  • 36篇董金卫
  • 32篇孙少东
  • 20篇赵星梅
  • 16篇钟华
  • 5篇郝永鹏
  • 4篇刘红丽
  • 4篇魏景峰
  • 4篇刘慧
  • 4篇康飞
  • 3篇王艾
  • 2篇徐冬
  • 2篇周厉颖
  • 2篇田博
  • 2篇邱江虹
  • 1篇陈亚
  • 1篇王丽荣
  • 1篇林松
  • 1篇侯建明
  • 1篇邱江红

年份

  • 4篇2017
  • 1篇2016
  • 4篇2015
  • 8篇2014
  • 9篇2013
  • 12篇2012
  • 6篇2011
  • 1篇2010
共 45 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
立式炉体装配设备多点固定装置
本发明公开了一种立式炉体装配设备多点固定装置，所述装配设备包括内载圈以及位于所述内载圈顶部的上载圈，所述固定装置包括：第一连接部，位于所述内载圈径向的内侧，与所述内载圈通过螺钉固定；第二连接部，由所述第一连接部的上端沿所...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
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保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置
本发明公开了一种保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，该保温桶用于支撑晶片舟，包括桶体及底座，所述桶体底部外边缘位于所述底座上表面内。本发明的保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，通过保温桶底座的较桶体突出部分的设置，可...
董金卫赵燕平赵星梅钟华林松
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一种立式炉体
本发明涉及一种炉体，公开了一种立式炉体，该立式炉体包括炉体本体，所述炉体本体的底部设有升降机构，所述升降机构包括固定支座、顶块和升降驱动单元；所述固定支座上设有一个或多个竖直导向槽，每个所述竖直导向槽内分别设有顶块，所述...
赵燕平孙少东
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立式炉冷却控制系统及方法
本发明公开了一种立式炉冷却控制系统及方法，涉及半导体热反应工艺设备温度控制技术领域。该系统包括：感温模块，用于感测立式炉反应室上测温点的温度，并将感测到的温度电压信号发送至信号处理模块；信号处理模块，将温度电压信号转换为...
徐冬董金卫赵燕平王艾田博
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立式热处理设备炉体装配装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体装配装置，涉及设备组装技术领域。所述装配装置包括：轮体、结构架、圆台和上载圈；所述轮体设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述装配装置；所述圆台设置在所述结构架的上部；所述上载圈设置在...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
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一种立式热处理设备的测温装置
本实用新型涉及一种立式热处理设备的测温装置，通过将控温热偶(3)、超温热偶(4)布置在绝缘子(2)两侧，或者同一侧不同水平高度，使得加热丝(1)与热偶距离保持相对稳定，从而提高测温装置的精度，避免热偶的破坏。可以广泛应用...
赵燕平刘慧孙少东王艾
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一种炉体装卸机构
本发明提供了一种炉体装卸机构，包括：主体，前传送支架调整结构，前传送支架，中间传送架，后传送支架，炉体固定支架，安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体至目标设备，前传送支...
刘红丽赵燕平邱江虹康飞
用于半导体热处理设备的立式晶舟
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种用于半导体热处理设备的立式晶舟，包括上下圆盘以及圆盘之间的连接立柱，其中，所述连接立柱为3根或3根以上，所述连接支柱之间固定有多层条状凸台，所述凸台相互平行，且上表面处于同一水平...
赵星梅董金卫魏景峰赵燕平
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一种半导体设备的炉体排气装置
本发明公开了一种半导体设备的炉体排气装置，包括：水平导流板，设于炉体正上方，并与主机箱体顶部内壁固定；倾斜导流板，相连设于水平导流板一侧，并向下倾斜连接至主机箱体侧壁；第一、第二排气管道，第一排气管道水平设于倾斜导流板下...
刘红丽邱江虹康飞赵燕平
半导体晶片热处理设备及方法
本发明公开了一种半导体晶片热处理设备及方法，涉及半导体晶片工艺技术领域，该热处理设备包括：加热器、工艺管、密封板、进气管、排气管、气体采集单元和氧气含量测量单元，工艺管的管口垂直向下，工艺管部分置于加热器中，工艺管的管口...
赵燕平董金卫钟华赵星梅
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