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主题

  • 3篇温度
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  • 2篇电力控制
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机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇徐冬
  • 5篇陈亚
  • 3篇王艾
  • 3篇田博
  • 2篇张海轮
  • 1篇孙少东
  • 1篇赵燕平
  • 1篇董金卫
  • 1篇程朝阳

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2010
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
温度控制系统及方法
本发明涉及一种温度控制系统及方法,该系统的感温模块感测到的温度信号通过信号采集模块滤波、放大、转换成温度数据后送入PLC,PLC通过网络与控制模块通讯以传输温度数据,控制模块各个采样通道的温度数据进行补偿,获取各个测温点...
徐冬张海轮陈亚周法福
文献传递
300mm立式炉温度控制系统研制被引量:1
2010年
针对300mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统。硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成。同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能。温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求,现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。
徐冬程朝阳陈亚张海轮
关键词:立式炉温度控制PID参数自整定
电力控制系统及包含其的立式炉加热设备
本发明公开了一种电力控制系统及包含其的立式炉加热设备,该电力控制系统包括:成环形依次连接的功率检测模块、功率补偿控制模块、控制信号输出模块、可控硅模块和电力模块;功率检测模块,用于检测电力模块供给的电压值和电流值,计算功...
徐冬田博王艾陈亚
基于模型高精度立式氧化炉温度控制系统技术研发与应用
徐冬董金卫赵燕平孙少东王艾田博陈亚
该项目以市场为导向,以创新为动力,以产品和技术革新为突破口进行创新发展;产、学、研、用相结合,在国家重大专项方针的指引下,重点对300mm立式氧化炉进行技术攻关。项目进行过程中,对关键工艺进行研究,攻克各个技术难点,突破...
关键词:
关键词:氧化炉温度控制系统
电力控制系统及包含其的立式炉加热设备
本发明公开了一种电力控制系统及包含其的立式炉加热设备,该电力控制系统包括:成环形依次连接的功率检测模块、功率补偿控制模块、控制信号输出模块、可控硅模块和电力模块;功率检测模块,用于检测电力模块供给的电压值和电流值,计算功...
徐冬田博王艾陈亚
文献传递
共1页<1>
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