徐永青
- 作品数：2 被引量：10H指数：2
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种新型的微机械电子隧穿加速度计被引量：8
- 2000年
- 介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g .
- 杨拥军李立杰徐永青赵彦军梁春广魏同立
- 关键词：加速度计电子隧穿微机械反馈回路振荡器解调器
- 梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)被引量：2
- 2002年
- 提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。
- 何洪涛徐永青杨拥军吕苗郑锋吝海峰
- 关键词：微机电系统
