李立杰
- 作品数：3 被引量：25H指数：2
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- 微机械热对流加速度计被引量：16
- 2001年
- 介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作 .它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变 ,从而产生温度差 ,由这个温度差感应了加速度、倾斜、位置变化 .这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成 ,腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件 .为了实现这种加速度计 ,采取了微机械制作方法中的前腐蚀工艺 ,把加速度计和伺服电路集成并封装在一起 ,测试了加速度效应 .
- 李立杰梁春广
- 关键词：热对流加速度计微机械
- 硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究被引量：1
- 2000年
- 本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;
- 苏岩王寿荣裘安萍周百令周百令李立杰
- 一种新型的微机械电子隧穿加速度计被引量：8
- 2000年
- 介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g .
- 杨拥军李立杰徐永青赵彦军梁春广魏同立
- 关键词：加速度计电子隧穿微机械反馈回路振荡器解调器
