何洪涛
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 水平式隧穿磁强计表头的制作被引量：2
- 2006年
- 水平式隧穿磁强计是一种新型隧穿磁强计,其特点是反映磁场变化的洛伦兹力与敏感元件在同一水平面内。该文介绍了这种隧穿磁强计的工作原理,分析了与垂直式隧穿磁强计的区别。给出了表头的加工版图、加工工艺及相应的工艺简图,分析了工艺难点。介绍了按此工艺研制的两种表头:一为直梁式,其加工相对容易、可靠性高;另一种为折叠梁式,其弹性好,位移灵敏度高。SEM照片显示:结构平整、无毛刺。两种结构的表头均进行了封装。
- 汤学华何洪涛罗蓉李倩郭荣辉吝海峰
- 关键词：磁强计微机电系统隧穿效应
- 梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)被引量：2
- 2002年
- 提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。
- 何洪涛徐永青杨拥军吕苗郑锋吝海峰
- 关键词：微机电系统
