2024年11月15日
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李健根
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供职机构:
中国电子科技集团第二十四研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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电子电信
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合作作者
李小刚
中国电子科技集团第二十四研究所
梅勇
中国电子科技集团第二十四研究所
张正元
中国电子科技集团第二十四研究所
黄磊
中国电子科技集团第二十四研究所
张正元
中国电子科技集团公司第二十四研...
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李小刚
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:单片集成 杨氏模量 压力传感器 集成电路 单片
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梅勇
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:单片集成 压力传感器 玻璃管 杨氏模量 集成电路制造
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张正元
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 硅薄膜 多晶硅 电路 键合
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冯志成
供职机构:中国电子科技集团公司第二十四研究所
研究主题:压力传感器 硅基 谐振梁 热激励
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供职机构
所获资助
研究领域
张正元
供职机构:中国电子科技集团公司第二十四研究所
研究主题:压力传感器 MEMS 硅 单片集成 硅基
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相关人物
供职机构
所获资助
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黄磊
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 绝缘层 介质耐压 终端 深槽
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