2024年11月15日
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陈静
作品数:
13
被引量:40
H指数:4
供职机构:
苏州大学机电工程学院
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国家自然科学基金
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
冶金工程
一般工业技术
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合作作者
王曦
中国科学院上海冶金研究所上海微...
吴雪梅
苏州大学物理科学与技术学院能源...
诸葛兰剑
苏州大学物理科学与技术学院能源...
陈猛
中国科学院上海冶金研究所上海微...
姚伟国
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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吴雪梅
供职机构:苏州大学
研究主题:螺旋波 光致发光 螺旋波等离子体 等离子体 球磨
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陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
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所获资助
研究领域
诸葛兰剑
供职机构:苏州大学
研究主题:光致发光 螺旋波 SIO 螺旋波等离子体 等离子体光子晶体
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姚伟国
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)物理学系
研究主题:球磨 光致发光 FE N 锗
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研究领域
董业民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI工艺 注氧隔离 抗辐射 绝缘体 静电保护电路
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郑望
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI SIMOX圆片 低剂量 SIMOX 集成电路
发表作品
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所获资助
研究领域
林梓鑫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
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所获资助
研究领域
李炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:场发射显示器 金刚石薄膜 非晶金刚石薄膜 类金刚石薄膜 光致发光
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所获资助
研究领域
王湘
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI结构 SOI材料 SIMOX圆片 离子注入机 低剂量
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供职机构
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