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边柯柯
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清华大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
周于
清华大学
杨开明
清华大学
伍三忠
清华大学
陈恳
清华大学
高雨浩
清华大学
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周于
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 机械手 离子注入机 机器人 传送系统
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伍三忠
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 编码器 光信号 几何光学 机械手
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高雨浩
供职机构:清华大学
研究主题:叠层 工装 机床运动 距离传感器 偏角
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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孙勇
供职机构:清华大学
研究主题:电力系统 运行控制 风电场 公平调度 汽油
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付成龙
供职机构:昆山市第四人民医院
研究主题:仿人机器人 双足机器人 机器人 定位器 飞行器
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付翱
供职机构:清华大学
研究主题:几何光学 机械手 滑移量 精度等级 晶圆
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陈恳
供职机构:清华大学
研究主题:机器人 仿人机器人 喷涂机器人 激光跟踪仪 飞行器
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