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伍三忠

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇晶圆
  • 2篇信号
  • 2篇同步带
  • 2篇图像
  • 2篇主控
  • 2篇主控计算机
  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入
  • 2篇离子注入机
  • 2篇精度等级
  • 2篇滑移
  • 2篇滑移量
  • 2篇机械手
  • 2篇几何光学
  • 2篇计算机
  • 2篇光信号
  • 2篇光学
  • 2篇编码器

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇付成龙
  • 4篇朱煜
  • 4篇陈恳
  • 4篇伍三忠
  • 4篇杨开明
  • 4篇周于
  • 2篇付翱
  • 2篇孙勇
  • 2篇万超
  • 2篇边柯柯
  • 2篇高雨浩

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法
本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带...
付成龙万超陈恳周于杨开明朱煜伍三忠
离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法
本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带...
付成龙万超陈恳周于杨开明朱煜伍三忠
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利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
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