周于
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
- 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
- 陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
- 离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法
- 本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手...
- 付成龙陈恳万超周于刘志杨开明朱煜
- 文献传递
- 单足跳跃机器人补能策略
- 2015年
- 为了实现稳定跳跃步态,单足机器人需要持续补充能量以克服阻尼、碰撞等造成的能耗。该文针对腿部有阻尼的单足机器人,分析不同补能方式和补能时机对单足机器人竖直跳跃阻尼能耗的影响。理论分析和仿真实验结果表明:在支撑相单足机器人躯干上升阶段补能具有更高的补能效率,且补能起始位置越高、距起跳点越近,补能效率越高;在支撑相单足机器人躯干下降阶段补能会影响地面对足端的支持力,导致机器人站立不稳;如果在上升阶段补能,补能起始位置越高,补充相同能量时对驱动器峰值驱动力及峰值驱动功率要求越高。该研究结果为跳跃补能策略选择以及设计高效跳跃机器人控制器提供了参考。
- 周于付成龙陈恳
- 离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法
- 本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手...
- 付成龙陈恳万超周于刘志杨开明朱煜
- 离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法
- 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带...
- 付成龙万超陈恳周于杨开明朱煜伍三忠
- 文献传递
- 利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
- 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
- 陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
- 文献传递
- 离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法
- 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带...
- 付成龙万超陈恳周于杨开明朱煜伍三忠
- 具有弹性负载的单足机器人被动跳跃节能分析被引量：2
- 2016年
- 为了研究弹性减少跳跃机器人能耗、提高能量效率的机理,本文在被动跳跃状态下,对比了负载刚性连接及负载弹性悬挂两种单足跳跃机器人一维跳跃过程的能耗特性,并探讨了悬挂参数对能耗特性的影响。理论分析和仿真结果表明:跳跃支撑相期间,负载弹性悬挂单足跳跃机器人部分能量储存在悬挂弹簧中,有助于减小跳跃能耗;随着悬挂阻尼增大,悬挂弹簧刚度需要相应增大以减小能耗;飞行相中,虽然悬挂阻尼会导致跳跃机器人负载和躯干由于相对运动产生阻尼能耗,但是飞行相阻尼能耗显著小于支撑相,不影响总体节能效果。
- 周于付成龙陈恳
- 关键词：自动控制技术跳跃机器人能量耗散
