2024年11月15日
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梅勇
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供职机构:
中国电子科技集团第二十四研究所
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国家高技术研究发展计划
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自动化与计算机技术
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合作作者
李小刚
中国电子科技集团第二十四研究所
张正元
中国电子科技集团第二十四研究所
李健根
中国电子科技集团第二十四研究所
张志红
中国电子科技集团第二十四研究所
张正元
中国电子科技集团公司第二十四研...
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李小刚
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:单片集成 杨氏模量 压力传感器 集成电路 单片
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张正元
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 硅薄膜 多晶硅 电路 键合
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李健根
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:单片集成 单片 多晶硅 金属化工艺 淀积
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胡刚毅
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:电路 模数转换器 采样开关 比较器 跨导放大器
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所获资助
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张正元
供职机构:中国电子科技集团公司第二十四研究所
研究主题:压力传感器 MEMS 硅 单片集成 硅基
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张志红
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:传感器芯片 杨氏模量 封装方法 封装 焊料凸点
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徐勇
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:触发电路 触发 脉冲功率电源 电路研究 真空触发开关
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冯志成
供职机构:中国电子科技集团公司第二十四研究所
研究主题:压力传感器 硅基 谐振梁 热激励
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张祖伟
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:体声波滤波器 气体传感器 核电 压电加速度传感器 阳极键合
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冯志成
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:封装方法 封装 共晶 功率VDMOS 单片集成
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