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王润梅

作品数：36 被引量：35H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
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合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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