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罗明雄

作品数：12 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 6篇电子电信

主题

  • 6篇刻蚀
  • 5篇晶体管
  • 4篇等离子体刻蚀
  • 4篇电路
  • 3篇金属
  • 2篇电子迁移率
  • 2篇淀积
  • 2篇栅极
  • 2篇蒸发
  • 2篇迁移率
  • 2篇驱动电路
  • 2篇激光
  • 2篇集成电路
  • 2篇恒流
  • 2篇恒流源
  • 2篇发射区
  • 2篇高电子迁移率
  • 2篇高电子迁移率...
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体集成

机构

  • 12篇中国科学院微...
  • 2篇四川大学

作者

  • 12篇罗明雄
  • 11篇刘训春
  • 7篇王润梅
  • 5篇张龙海
  • 4篇李无暇
  • 4篇汪宁
  • 4篇吴德馨
  • 3篇石瑞英
  • 3篇袁志鹏
  • 3篇李无瑕
  • 2篇钱永学
  • 2篇张海英
  • 2篇郑坚斌
  • 2篇石华芬
  • 1篇孙海峰
  • 1篇王淑琴
  • 1篇魏珂
  • 1篇刘洪民
  • 1篇曹振亚
  • 1篇孙海锋

传媒

  • 5篇Journa...
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 8篇2004
  • 1篇2003
  • 3篇2002
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
0.2μmT形栅技术在10Gbps激光驱动电路研制中的应用
2004年
0.2μm T形栅制作技术在 10 0 mm Ga As激光驱动电路芯片研制中获得了成功的应用 .优化的栅制作工艺保证了形貌良好的栅线条 ,获得了优良的晶体管直流参数和高频性能 .栅工艺重复性好 ,整片内器件性能均匀一致 ,确保了电路的成功研制 .实际电路测试结果表明 ,在 10 0 mm Ga As片上制备的 PHEMT驱动电路的芯片测试合格率达到 70 %以上 。
张海英刘训春罗明雄刘洪民王润梅
关键词：GAASPHEMTT形栅
适用于阵列波导光栅制作的厚SiO_2陡直刻蚀技术被引量：5
2003年
采用 ICP- 98型高密度等离子体刻蚀机进行了厚 Si O2 陡直刻蚀技术的研究 ,利用双层掩膜技术解决了“微掩膜现象”问题 ,刻蚀获得 12 .4 μm的陡直 Si O2 光波导剖面 ,并将这一刻蚀技术用于阵列波导光栅的制作中 .
魏珂刘训春曹振亚王润梅罗明雄牛立华
晶体管T型发射极或栅极金属图形的制造方法
本发明晶体管T型发射极或栅极金属图形的制造方法属于半导体集成电路工艺。本方法是先在衬底片上涂两层正性光刻胶，或者先淀积一层SiO<Sub>2</Sub>或SiN介质层后涂正性光刻胶，然后光刻出发射极或栅极窗口图形，再用等...
刘训春李无瑕王润梅钱永学吴德馨张龙海郑坚斌罗明雄
晶体管T型发射极或栅极金属图形的制造方法
本发明晶体管T型发射极或栅极金属图形的制造方法属于半导体集成电路工艺。本方法是先在衬底片上涂两层正性光刻胶,或者先淀积一层SiO<Sub>2</Sub>或SiN介质层后涂正性光刻胶,然后光刻出发射极或栅极窗口图形,再用等...
刘训春李无瑕王润梅钱永学吴德馨张龙海郑坚斌罗明雄
文献传递
制备深亚微米栅的方法
一种制备深亚微米栅的方法，其步骤为：1)在基片上淀积氮化硅和二氧化硅复合膜；光刻生成胶膜图形，使其一边位于器件源漏中间；腐蚀二氧化硅的暴露部分并使形成侧蚀；2)蒸发金属；通过剥离工艺，去除胶上的金属；3)采用等离子体刻蚀...
刘训春李无暇王润海罗明雄石华芬汪宁
文献传递
减小发射极宽度提高InGaP/GaAs HBT的性能
2004年
在发射极宽度为 3μm和 4 μm In Ga P/ Ga As HBT工艺的基础上 ,研究了发射极宽度为 2 μm时发射极与基极之间的自对准工艺 ,用简单方法制备出了发射极宽度为 2 μm的 In Ga P/ Ga As HBT.发射极面积为 2 μm× 1 5 μm时器件的截止频率高达 81 GHz,且集电极电流密度为 7× 1 0 4 A/ cm2 时仍没有出现明显的自热效应 .它的高频和直流特性均比发射极宽度为 3μm和 4 μm In Ga P/ Ga As HBT的有了显著提高 。
石瑞英孙海峰刘训春袁志鹏罗明雄汪宁
关键词：自对准工艺
可获得纳米栅的高电子迁移率晶体管制作方法
一种可获得纳米栅的高电子迁移率晶体管制作方法,首先1.在砷化镓等晶片上光刻有源岛区,2.然后注入质子或氧、硼离子;以常规方法形成源漏金属并合金;3.淀积绝缘层;4.光刻出栅牺牲层;5.溅射或蒸发形成薄膜;6.减薄腐蚀;7...
刘训春张龙海王润梅李无瑕罗明雄吴德馨
文献传递
在衬底上制备空气桥的方法
一种在衬底上制备空气桥的方法，包括如下步骤：(1)在衬底上涂两层光刻胶；(2)在上层光刻胶上曝光、显影，获得桥模图形；(3)对下层刻蚀和氯苯浸泡，将上层的桥模图形转移到下层；(4)泛曝光、显影去除剩余的上层胶；(5)在已...
刘训春李无暇王润海罗明雄
文献传递
带自调整恒流源的激光器调制驱动电路
本发明提供一种一种带自调整恒流源的激光器调制驱动电路，该电路包括：一第一级预放电路；一第二级预放电路；一恒流管栅压调控电路，该恒流管栅压调控电路连接在该第一级预放电路和第二级预放电路之间；其中恒流管栅压调控电路包括，一场...
刘训春张龙海李无暇王润海罗明雄
文献传递
带自调整恒流源的2.5Gb/s激光器调制驱动电路的研究
本文报道了我们提出的一种带自调整恒流源的2.5Gb/s激光器调制驱动电路.它通过一个负反馈极强的电路控制预前级差分放大器的恒流源栅极电位,达到较稳定的电压输出,以保证足够大的逻辑摆幅去推动功率输出级,使之正常工作,从而,...
刘训春张龙海吴德馨刘新宇李无暇袁志鹏王润梅刘宏民罗明雄王淑琴
关键词：驱动电路激光器光发射机
文献传递
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共2页<12>
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