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张俊峰

作品数：5 被引量：10H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 微电感 微陀螺 力学性能
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微陀螺 碳纳米管 微电子机械系统
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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