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张冠

作品数：22 被引量：5H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇机械工程

主题

  • 6篇声表面波
  • 4篇微驱动
  • 4篇纳米
  • 3篇声表面波器件
  • 3篇驱动器
  • 3篇陀螺
  • 3篇陀螺仪
  • 3篇微驱动器
  • 3篇雾化
  • 3篇雾化器
  • 3篇芯片
  • 2篇压电
  • 2篇压电泵
  • 2篇压缩机
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射效率
  • 2篇仪器
  • 2篇真空沉积
  • 2篇真空压缩机
  • 2篇蒸发舟

机构

  • 22篇上海交通大学

作者

  • 22篇张冠
  • 19篇李以贵
  • 18篇孙健
  • 17篇陈少军
  • 10篇高阳
  • 2篇刘景全
  • 2篇杨春生
  • 2篇李世鹏
  • 2篇秦奎
  • 1篇张俊峰
  • 1篇张俊峰
  • 1篇邓勇
  • 1篇孙键

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 5篇2011
  • 5篇2010
  • 12篇2009
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
可测量任意方向角速度的气体陀螺仪
本发明是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括：硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该...
李以贵孙健张冠陈少军高阳
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基于声表面波的二维数字微流体分析检测平台
本发明涉及一种微流体驱动领域的基于声表面波的二维数字微流体分析检测平台。本发明包括四组尺寸完全相同的且对称分布的金属梳状叉指电极对、图形化的疏水涂层、二维亲水导轨、铌酸锂衬底，其特征在于，底层为铌酸锂衬底，上层中央为图形...
李以贵高阳张冠孙健陈少军
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基于声表面波的微型液滴雾化器技术被引量：2
2009年
采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器。该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化。对叉指结构(IDT)周期长度的确定和器件的制作工艺进行了详细说明。利用对液滴驱动速度的测定得出了该雾化器的实际中心频率,并指出实际中心频率与理论值存在差异的原因。得出雾化微粒直径与叉指结构周期之间的关系,并计算得出在施加驱动频率为10.1MHz、功率为24W的电信号时,其雾化颗粒直径为2.61μm,雾化速度达到了1μL/s。
张冠李以贵张俊峰杨春生刘景全
关键词：微细加工技术雾化器声表面波叉指换能器微粒
具有凸半球结构的硅平台制备方法
一种微机电系统技术领域的具有凸半球结构的硅平台制备方法，包括：在硅基片上旋涂一层正光刻胶，将掩模板置于硅基片正上方，利用X射线透过掩模板对硅基片上的光刻胶层进行动态曝光；按照与第一步中动态曝光相垂直的方向，对硅基片进行第...
李以贵孙健张冠陈少军高阳
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用于纳米压印的真空模压装置
一种材料制备技术领域的用于纳米压印的真空模压装置，拉伸试验机、精密模具固定系统、温度控制系统、基底、真空压缩机、真空罩，其中，真空罩与基底之间密封结合，真空压缩机与真空罩之间连通，精密模具固定系统由活塞和导轨组成，活塞在...
李以贵张冠孙健陈少军
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变沟道微型血液分离器
一种医疗器械技术领域的变沟道微型血液分离器，包括：储藏腔、若干条沟道、收集腔、基片和玻璃盖，其中：储藏腔设置于沟道的一端，收集腔设置于沟道的另一端，储藏腔、沟道和收集腔设置于基片之上，玻璃盖和基片相连，玻璃盖位于储藏腔、...
李以贵孙健张冠陈少军邓勇
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基于金属电阻的高抗冲击气体陀螺仪
本发明设计一种基于金属电阻的高抗冲击气体陀螺仪，包括压电隔膜泵、含金属电阻丝的敏感部件、喷嘴、铝管壳，其中：压电隔膜泵位于铝管壳内的底部，含金属电阻丝的敏感部件位于铝管壳中部，喷嘴安装在铝管壳内靠近开口处，压电隔膜泵的出...
李以贵孙健陈少军张冠
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纳米压印装置
本发明涉及一种纳米技术领域的纳米压印装置，包括正方形活塞、稳定装置、五边形方柱、螺栓，其中：五边形方柱中间是一个五边形空腔，在五边形方柱前表面与侧壁形成的45°拐角处的内壁上下各安装两个相同的稳定装置以及螺栓，正方形活塞...
李以贵陈少军张冠孙健
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声表面波微驱动器及其应用
声表面波技术是20世纪60年代发展起来的一门新兴学科，它集合了声学、光学、电子学以及材料学等多个学科。声表面波器件已被广泛应用于移动通信、航空电子等领域。进入二十一世纪，声表面波技术在微流体、固体驱动等应用领域有了长足的...
张冠
关键词：叉指换能器
超声波全方位发生器
一种医用技术领域的超声波全方位发生器，包括：硅基和压电陶瓷传感片，其中：硅基上设有30°~60°的倒角，压电陶瓷传感片和硅基的倒角面键合。本发明结构简单，使用寿命长，可以实现无电机驱动的360°全方位超声波发生，应用前景...
李以贵张冠孙键刘景全杨春生
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