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杜合杰

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻机

机构

  • 1篇重庆光电技术...

作者

  • 1篇张勇
  • 1篇李仁豪
  • 1篇蔡颖岚
  • 1篇杜合杰

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
分步重复自动对准光刻工艺技术研究被引量：2
2007年
介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统,分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述,阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问题,并提出了相应的解决措施。
蔡颖岚张勇杜合杰李仁豪
关键词：光刻机
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共1页<1>
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