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蔡颖岚

作品数：2 被引量：6H指数：2
供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇定位传感器
  • 1篇四象限
  • 1篇屏蔽
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻机
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇重庆光电技术...

作者

  • 2篇蔡颖岚
  • 1篇张勇
  • 1篇李仁豪
  • 1篇杜合杰

传媒

  • 2篇半导体光电

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
分步重复自动对准光刻工艺技术研究被引量：2
2007年
介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统,分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述,阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问题,并提出了相应的解决措施。
蔡颖岚张勇杜合杰李仁豪
关键词：光刻机
平面四象限光电定位传感器被引量：4
2004年
介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理。利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统。
蔡颖岚
关键词：定位传感器
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共1页<1>
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