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肖伟
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
吴培亨
南京大学电子科学与工程学院超导...
许伟伟
南京大学电子科学与工程学院超导...
曹春海
南京大学电子科学与工程学院超导...
卢亚鹏
南京大学电子科学与工程学院超导...
许钦印
南京大学电子科学与工程学院超导...
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机构
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南京大学
作者
3篇
李梦月
3篇
许钦印
3篇
卢亚鹏
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曹春海
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许伟伟
3篇
吴培亨
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康琳
2篇
陈健
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房玉荣
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低温与超导
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第十一届全国...
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2篇
2012
1篇
2011
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Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究
2012年
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结。
卢亚鹏
曹春海
李梦月
许钦印
肖伟
房玉荣
许伟伟
康琳
陈健
吴培亨
关键词:
超导隧道结
阳极氧化
Nb/A1-AlO_X/Nb隧道结的制备研究
被引量:2
2012年
通过改进RIE的刻蚀工艺和绝缘层的生长工艺,在SiO2/Si衬底上制备出了性能良好的超导Nb/A1-AlOX/Nb隧道结。采用CF4作为刻蚀气体,降低了RIE对结势垒层和衬底SiO2层的刻蚀。使用PECVD生长绝缘层SiO2,改善了绝缘性能,从而降低了隧道结的漏电流。
肖伟
曹春海
李梦月
许钦印
卢亚鹏
康琳
许伟伟
陈健
吴培亨
关键词:
隧道结
全铌超导约瑟夫森结制备氧化工艺研究
卢亚鹏
李梦月
许钦印
肖伟
房玉荣
许伟伟
曹春海
吴培亨
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