曹春海 作品数:63 被引量:63 H指数:5 供职机构: 南京大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 一般工业技术 电气工程 更多>>
铌基超导隧道结直接检测器制备研究 超导隧道结是超导电子学的核心单元,高质量隧道结的制备技术对超导电子学的发展带来深刻的影响。在超导直接检测器的研究中,高质量超导隧道结是实验研究的关键。开展了超导太赫兹直接检测器的制备研究,重点研究了高品质的Nb/Al-A... 王海萍 曹春海 刘奥谱 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨关键词:超导隧道结 太赫兹 超导量子比特中铝超导隧道结的性能 被引量:2 2011年 超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求. 沈丹丹 朱冉 许伟伟 常俊杰 吉争鸣 孙国柱 曹春海 陈健关键词:隧道结 电子束蒸发 超导量子比特 非掺杂AlGaN/GaN微波功率HEMT 被引量:14 2004年 报道了研制的 Al Ga N / Ga N微波功率 HEMT,该器件采用以蓝宝石为衬底的非掺杂 Al Ga N/ Ga N异质结构 ,器件工艺采用了 Ti/ Al/ Ni/ Au欧姆接触和 Ni/ Au肖特基势垒接触以及 Si N介质进行器件的钝化 .研制的 2 0 0μm栅宽 T型布局 Al Ga N / Ga N HEMT在 1.8GHz,Vds=30 V时输出功率为 2 8.93d Bm,输出功率密度达到 3.9W/mm ,功率增益为 15 .5 9d B,功率附加效率 (PAE)为 4 8.3% .在 6 .2 GHz,Vds=2 5 V时该器件输出功率为 2 7.0 6 d Bm ,输出功率密度为 2 .5 W/ mm ,功率增益为 10 .2 4 d B,PAE为 35 .2 % . 陈堂胜 焦刚 薛舫时 曹春海 李拂晓关键词:宽禁带半导体 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 欧姆接触电阻率的精确测量方法 被引量:5 2005年 分析了一般测量接触电阻率的TLM模型以及“端电阻”修正模型的缺点,提出了一种新的接触电阻率的测试方法。此方法模型精确,常规测试条件下容易得到误差小于1%的相关测试量的值,使接触电阻率的测试误差小于5%。 曹春海关键词:传输线模型 接触电阻率 测量方法 超导HEB混频器的设计与制备 被引量:1 2009年 展示了一种基于超导NbN薄膜材料的HEB混频器的设计与制备工艺,详细介绍了高阻硅衬底上的超薄NbN薄膜的生长技术、HEB器件的结构、超导微桥区和平面等角螺旋天线的阻抗匹配等内容.测量研究了超导NbN HEB的电阻-温度(R-T)曲线、不同温度下的电流-电压(I-V)曲线以及HEB对太赫兹(THz)信号的响应特性.用Y因子方法测量了HEB器件的噪声温度,在2.5THz的太赫兹波辐照下,其最低噪声温度为2213K. 王金平 康琳 王玉 钟杨音 梁敏 陈健 曹春海 许伟伟 吴培亨关键词:平面等角螺旋天线 噪声温度 金属/n型AlGaN欧姆接触 被引量:12 2002年 用传输线模型对 n型 Al Ga N(n- Al Ga N)上 Au/ Pt/ Al/ Ti多金属层欧姆接触进行了接触电阻率的测量 .在85 0℃退火 5 min后 ,测得欧姆接触电阻率达 1.6× 10 - 4Ω· cm2 .经 X射线衍射分析 ,Au/ Pt/ Al/ Ti/ n- Al Ga N界面固相反应得出在 5 0 0℃以上退火过程中 ,Al Ga N层中 N原子向外扩散 ,在 Al Ga N表面附近形成 n型重掺杂层 ,导致欧姆接触电阻率下降 ;随退火温度的升高 ,N原子外扩散加剧 ,到 80 0℃以上退火在 Au/ Pt/ Al/ Ti/ n- Al Ga N界面形成 Ti2 N相 。 周慧梅 沈波 周玉刚 刘杰 郑泽伟 钱悦 张荣 施毅 郑有炓 曹春海 焦刚 陈堂胜关键词:欧姆接触 界面固相反应 金属 超导纳米线单光子探测器 被引量:9 2011年 利用磁控溅射、电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术,开展了超导纳米线单光子探测器(SNSPD)的研究.通过对SNSPD的设计和制备工艺参数的优化,成功制备出了高质量的SNSPD.单光子检测实验表明,制备的SNSPD对660nm波长的光信号,系统检测效率可达30%,对1550nm波长光信号,最大系统检测效率为4.2%.在平均暗计数小于10c/s的情况下,系统检测效率大于20%(660nm)和3%(1550nm). 张蜡宝 康琳 陈健 赵清源 郏涛 许伟伟 曹春海 金飚兵 吴培亨关键词:单光子 纳米线 探测器 Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究 2012年 提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结。 卢亚鹏 曹春海 李梦月 许钦印 肖伟 房玉荣 许伟伟 康琳 陈健 吴培亨关键词:超导隧道结 阳极氧化 铁电压控谐振器的研究 研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于... 曹春海 徐筱乐 何世明 周建明 刘兴钊 王烨 李言容 李拂晓关键词:铁电材料 微波谐振器 文献传递 直流磁控溅射制备TiN超导薄膜 TiN薄膜制备的超导谐振器与铝膜谐振器相比,在低场下具有更高的无载品质因子,因而可用于超导量子比特样品的实验研究,提高其消相干时间.针对这一特性及应用要求,我们采用直流磁控溅射方法,在室温下开展了TiN薄膜的制备研究.在... 陈志平 曹春海 李永超 孙国柱 陶旭 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨关键词:TIN薄膜 直流磁控溅射