赵爱英
- 作品数：9 被引量：2H指数：1
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：四川省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信环境科学与工程更多>>
- 一种单片光电集成回路的制作方法
- 本发明公开了一种单片光电集成回路的制作方法，它是利用激光辅助微细加工技术制作单片光电集成回路，即在制作光器件过程中，利用激光的高度定域性，在扩散、合金等高温工艺中使得高温区域严格限制在光器件所在区域，从而避免对基片上已做...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙赵爱英张雪琴王昱琳
- 文献传递
- 一种单片光电集成回路的制作方法
- 本发明公开了一种单片光电集成回路的制作方法，它是利用激光辅助微细加工技术制作单片光电集成回路，即在制作光器件过程中，利用激光的高度定域性，在扩散、合金等高温工艺中使得高温区域严格限制在光器件所在区域，从而避免对基片上已做...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙赵爱英张雪琴王昱琳
- 文献传递
- 单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法
- 本发明提供的单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法，它是通过采用功率密度很高的激光束照射半导体表面需要退火的区域，在照射区将产生温度随时间的变化率很大、持续时间短的骤冷、骤热过程；将该温度骤变过程控制在合适的变化...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙张雪琴赵爱英刘霖王昱琳
- 文献传递
- 双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化
- 2006年
- 激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布,分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出,用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时,基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20μm。这为改进激光诱导扩散工艺,用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
- 王昱琳叶玉堂吴云峰赵爱英焦世龙范超
- 关键词：激光诱导扩散
- 单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法
- 本发明提供的单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法，它是通过采用功率密度很高的激光束照射半导体表面需要退火的区域，在照射区将产生温度随时间的变化率很大、持续时间短的骤冷、骤热过程；将该温度骤变过程控制在合适的变化...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙张雪琴赵爱英刘霖王昱琳
- 文献传递
- 杂质Zn在InP中的扩散机制被引量：1
- 2005年
- 介绍了杂质Zn在InP中的两种扩散机制,间隙-替代机制和Kick-out机制。InP为n型时,扩散机制为间隙-替代式;InP为p型时,扩散机制为Kick-out式。重点介绍了三种不同模型,解释Zn在InP中通过间隙原替代机制进行扩散时,空穴浓度与Zn浓度不同的原因,并评价了三种模型。
- 赵爱英叶玉堂吴云峰王昱琳张雪琴范超焦世龙
- 关键词：INPINPZNP型
- 微小激光加工区辐射测温准确性的提高被引量：1
- 2006年
- 利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法。这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器、减小光接收面面积、将原有的透镜更改为红外消像差透镜,最后利用图像复原技术中的—Lucy-Richardson算法求出最佳真实温度分布估计。其中前4个步骤有效的提高了测温分布细节,实验测得微小面元温度分布半宽值仅21μm,远远小于之前测得的半宽值;Lucy-Richardson算法则将温度分布中被点扩展函数卷积掉的高温部分复原回来,实验测得微小面元温度分布在复原后温度最高值高出复原前最高值近100℃。实验证明这种方法有效的提高了测温准确性。
- 赵爱英叶玉堂吴云峰王昱琳张雪琴范超焦世龙
- 关键词：辐射测温温度分布激光微加工
- 微小激光加工区温度测量的准确性研究
- 2005年
- 利用辐射测温系统对半导体微细加工高温区进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响。理论分析表明,对于像差校正系统,杂散光及探测器光敏面面积是影响测温系统温度测量准确性的主要因素,因此将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器以限制杂散光并减小光接收面面积。实验证明这种方法是有效的,基本满足微小面元温度测量的要求。
- 赵爱英叶玉堂吴云峰王昱琳张雪琴范超焦世龙
- 关键词：辐射测温温度测量
- 微小激光加工区测温系统空间分辨能力的提高技术研究
- 单片光电集成器件（OEICs）是利用光电子技术和微电子技术将光电子器件和微电子器件集成到同一衬底而形成的新型器件，具有功能强、体积小、成本低等突出优点。由于单片 OEICs要将光、电两类性能完全不同的器件集成在同一衬底上...
- 赵爱英
- 文献传递
