叶玉堂
- 作品数：298 被引量：682H指数：13
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省粤港关键领域重点突破项目四川省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法
- 本发明提供的单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法，它是通过采用功率密度很高的激光束照射半导体表面需要退火的区域，在照射区将产生温度随时间的变化率很大、持续时间短的骤冷、骤热过程；将该温度骤变过程控制在合适的变化...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙张雪琴赵爱英刘霖王昱琳
- 文献传递
- 湿法腐蚀的红外热像对比研究被引量：5
- 2006年
- 提出了一种研究半导体湿法腐蚀进程的红外热像法。将半导体基片浸泡于化学试剂中,利用红外热像仪探测红外腐蚀信号,并由计算机进行处理,得到热像图。对GaAs在不同配比溶剂中的腐蚀进程进行了红外热像的对比研究,结果表明:红外热像法可以观测到对比实验的显著差异,并直观地表征了基片、腐蚀剂以及腐蚀时间的相互关系。
- 范超叶玉堂焦世龙刘霖陈镇龙吴云峰王昱琳田骁
- 关键词：红外热像湿法腐蚀半导体
- 双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化
- 2006年
- 激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布,分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出,用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时,基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20μm。这为改进激光诱导扩散工艺,用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
- 王昱琳叶玉堂吴云峰赵爱英焦世龙范超
- 关键词：激光诱导扩散
- 激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统被引量：10
- 2004年
- 在半导体的激光微细加工技术里 ,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数 ,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布 ,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统 ,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中 ,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流 ,再经信号放大及模 /数转换后输入计算机。结合温度定标实验 ,对测得的温度数据进行插值运算 ,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到 0 .2℃ ,测量区域的最小直径可达到 18μm。同时设计了搜索算法 ,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合 。
- 吴云峰叶玉堂吴泽明杨先明秦宇伟
- 关键词：激光微细加工半导体
- 高速转镜相机转速测量的同步传感系统被引量：7
- 2006年
- 同步传感系统新方法主要是利用激光的抗电磁干扰及可高速处理的性能得到转镜的时间信息,再经过光电转换来实现转速的测量。探测电路部分采用限幅放大,在一个大的动态范围内,都可以得到稳定的脉冲信号。为满足精度的需求,信号处理部分采用ASIC计数单元,精度为0.2 ns,然后通过嵌入式控制模块,方便地实现人机通信。由实验结果得到该方法的误差在ns级,比传统的高速相机传感器在精度上提高了一个数量级。
- 满光明叶玉堂吴云峰邹翔何宇胡滢滨
- 关键词：光电探测计数器ASIC
- 一种基于形态特征的粪便中寄生虫虫卵检测方法
- 该发明公开了一种基于形态特征的粪便样本中寄生虫虫卵检测方法，涉及一种粪便样本图像中寄生虫虫卵检测方法，预处理部分主要完成对图像的预处理，对图像进行灰度化、二值化、填充及连通区域面积筛选；检测部分则对预处理后的二值图像进行...
- 刘霖张正龙张静倪光明王强谢煜袁阳雷皓婷刘娟秀叶玉堂刘永
- 文献传递
- 运动物体多角度同步图象信息采集与预处理系统被引量：1
- 2009年
- 针对做前后直线运动的待检测物体,在某一个特定的时刻,可以获取该物体的上、下、左、右四个方向的图象信息,研究了这四幅同步图象的采集和预处理,并将预处理后的同步图象通过CameraLink接口上传到PC机进行后续的物体表面损伤检测。系统采用DSP+FPGA框架,利用FPGA的逻辑粘合作用完成信号格式的转换,这个方案进一步推动了机器视觉在生产领域的应用。
- 王海林吴云峰叶玉堂冯晓昱龚磊
- 关键词：机器视觉图象处理FPGADSPCAMERALINK
- 短波长OEIC光接收机前端设计及制作被引量：2
- 2008年
- 基于国内的材料和工艺技术,研制出850nm单片集成光接收机前端,集成形式包括PIN/TIA、PIN/DA、MSM/TIA和MSM/DA等。对光探测器和电路分别进行了研究和优化。通过Silvaco软件,建立了探测器器件模型,并通过实验数据验证。分布放大器-3dB带宽接近20GHz,跨阻增益约46dBΩ,输入、输出驻波比均小于2,噪声系数在3.03～6.5dB之间。跨阻前置放大器-3dB带宽接近10GHz,跨阻增益约43dBΩ,输入、输出驻波比均小于3.5,噪声系数在4～6.5dB之间。集成芯片最高工作速率达到5Gb/s。
- 范超陈堂胜陈辰焦世龙陈镇龙刘霖王昱琳叶玉堂
- 关键词：光电集成电路光接收机前端跨阻放大器
- (HgCd)Te探测器Franz-Keldysh效应有效强度的一种表征方法被引量：1
- 2001年
- 提出一种表征 ( Hg Cd) Te探测器 Franz- Keldysh效应有效强度的简易方法 ,即用 ( Hg Cd) Te探测器在反偏压及零偏压时的输出电压比来表征其 Franz- Keldysh效应有效强度的强弱 ,实验结果证实了这种方法有效、可行 .
- 李正东叶玉堂吴云峰舒海洪何琳玲李德智吴泽明
- 关键词：FRANZ-KELDYSH效应
- 一种用于视频流信号处理系统的分布式传输装置
- 本发明公开一种用于视频流信号处理系统的分布式传输装置，视频信号处理嵌入式系统中，该系统包括多个视频处理单元，AXI总线，ARM处理器和DDR存储器，分布式的DMA控制器和相应的DMA配置单元。每个分散的DMA控制器连接一...
- 刘霖谭沛岩王耀杰付大鹏张静任程辉易少宾刘娟秀谢煜叶玉堂刘永
- 文献传递
