张雪琴
- 作品数：18 被引量：7H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金四川省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信环境科学与工程动力工程及工程热物理交通运输工程更多>>
- SIMS测量激光诱导扩散Zn的浓度分布
- 2005年
- 通过SIMS对激光诱导扩散杂质浓度分布的研究,提出了一个测量扩散区只在μm量级或10μm 量级范围内的杂质浓度分布的方法。首先利用光刻的方法在基片表面标识出扩散窗口,然后进行激光诱导处理。用SIMS对制成的扩散样品定量分析,通过扫描探针显微镜测量刻蚀深度,由此实现了微小扩散区掺杂浓度-深度分布的研究。
- 张雪琴吴云峰叶玉堂焦世龙
- 关键词：激光诱导扩散
- 一种光学仪器内部光学元件状况的检测方法
- 本发明提供了一种检测光学仪器内部元件的方法，它采用了激光光源，利用激光良好的会聚性，减少了镜面之间信号的相互干扰；通过观测激光在被检测光学表面的反射光，利用反射光在有损伤时呈现出的高对比度，能够容易地检测出的损伤。本发明...
- 叶玉堂范超吴云峰张雪琴余学才杨先明方勇文郑华李莹波秦宇伟
- 文献传递
- 单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法
- 本发明提供的单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法，它是通过采用功率密度很高的激光束照射半导体表面需要退火的区域，在照射区将产生温度随时间的变化率很大、持续时间短的骤冷、骤热过程；将该温度骤变过程控制在合适的变化...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙张雪琴赵爱英刘霖王昱琳
- 文献传递
- 杂质Zn在InP中的扩散机制被引量：1
- 2005年
- 介绍了杂质Zn在InP中的两种扩散机制,间隙-替代机制和Kick-out机制。InP为n型时,扩散机制为间隙-替代式;InP为p型时,扩散机制为Kick-out式。重点介绍了三种不同模型,解释Zn在InP中通过间隙原替代机制进行扩散时,空穴浓度与Zn浓度不同的原因,并评价了三种模型。
- 赵爱英叶玉堂吴云峰王昱琳张雪琴范超焦世龙
- 关键词：INPINPZNP型
- 用激光微细加工制作平面型InGaAs/InPPIN光探测器被引量：2
- 2005年
- 采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InPPIN光探测器, 响应度为0.21A/W。分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区 温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法。
- 吴云峰廖云叶玉堂焦世龙张雪琴
- 关键词：激光微细加工PIN光探测器激光诱导扩散
- 一种单片光电集成回路的制作方法
- 本发明公开了一种单片光电集成回路的制作方法，它是利用激光辅助微细加工技术制作单片光电集成回路，即在制作光器件过程中，利用激光的高度定域性，在扩散、合金等高温工艺中使得高温区域严格限制在光器件所在区域，从而避免对基片上已做...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙赵爱英张雪琴王昱琳
- 文献传递
- 微小激光加工区辐射测温准确性的提高被引量：1
- 2006年
- 利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法。这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器、减小光接收面面积、将原有的透镜更改为红外消像差透镜,最后利用图像复原技术中的—Lucy-Richardson算法求出最佳真实温度分布估计。其中前4个步骤有效的提高了测温分布细节,实验测得微小面元温度分布半宽值仅21μm,远远小于之前测得的半宽值;Lucy-Richardson算法则将温度分布中被点扩展函数卷积掉的高温部分复原回来,实验测得微小面元温度分布在复原后温度最高值高出复原前最高值近100℃。实验证明这种方法有效的提高了测温准确性。
- 赵爱英叶玉堂吴云峰王昱琳张雪琴范超焦世龙
- 关键词：辐射测温温度分布激光微加工
- 单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法
- 本发明提供的单片光电集成光接收器制作中消除应力和损伤的方法，它是通过采用功率密度很高的激光束照射半导体表面需要退火的区域，在照射区将产生温度随时间的变化率很大、持续时间短的骤冷、骤热过程；将该温度骤变过程控制在合适的变化...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙张雪琴赵爱英刘霖王昱琳
- 文献传递
- 一种单片光电集成回路的制作方法
- 本发明公开了一种单片光电集成回路的制作方法，它是利用激光辅助微细加工技术制作单片光电集成回路，即在制作光器件过程中，利用激光的高度定域性，在扩散、合金等高温工艺中使得高温区域严格限制在光器件所在区域，从而避免对基片上已做...
- 叶玉堂吴云峰焦世龙赵爱英张雪琴王昱琳
- 文献传递
- 红外汽车防撞预警系统
- 提出并实现了一种红外汽车防撞预警系统.这套系统能够探测的有效距离为100米,响应速度快,对障碍物目标能有效识别.
- 梁波方勇文余学才叶玉堂张雪琴
- 关键词：汽车防撞红外单片机红外预警系统目标识别
- 文献传递
