您的位置： 专家智库 > >

何金群

作品数：40 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇中文专利

领域

  • 6篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 11篇液罐
  • 11篇储液罐
  • 8篇气动
  • 6篇循环泵
  • 6篇控制器
  • 6篇管路
  • 6篇补液
  • 5篇气动阀
  • 4篇缓冲罐
  • 4篇硅片
  • 3篇电源
  • 3篇断电
  • 3篇断电保护
  • 3篇药液
  • 3篇药液浓度
  • 3篇支撑力
  • 3篇三通阀
  • 3篇输出端
  • 3篇双通道
  • 3篇气路系统

机构

  • 40篇北京七星华创...

作者

  • 40篇何金群
  • 34篇裴立坤
  • 14篇昝威
  • 9篇初国超
  • 9篇王营营
  • 7篇吴仪
  • 6篇刘福生
  • 3篇李广义
  • 3篇张绍国
  • 3篇赵宏宇
  • 3篇张豹
  • 2篇李曼

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 7篇2015
  • 3篇2014
  • 15篇2013
  • 4篇2012
  • 9篇2011
共 40 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
化学药液分配系统及其流量控制方法
本发明公开了一种化学药液分配系统，包括：储液罐，具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，一端与回液入口相连，另一端与出液口相连，该化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，一端与化学药液循环管线相连，另一端与工艺单...
何金群王锐廷张豹
一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置
本发明提供一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置，包括呈线性依次铰接的前臂以及多个关节臂，还包括气囊以及气路系统；气囊粘附在前臂上，且用于支撑前臂，气路系统用于控制气囊腔体内的气压；通过气路系统对所述气囊充气，使所...
李广义何金群赵宏宇
文献传递
化学液混合装置
本实用新型公开了一种化学液混合装置，包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二...
何金群刘福生王锐廷裴立坤
文献传递
补液装置
本实用新型公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液...
初国超何金群王营营裴立坤
文献传递
化学药液分配系统及其流量控制方法
本发明公开了一种化学药液分配系统，包括：储液罐，具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，一端与回液入口相连，另一端与出液口相连，该化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，一端与化学药液循环管线相连，另一端与工艺单...
何金群王锐廷张豹
文献传递
化学药液供给系统
本实用新型涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液...
初国超何金群裴立坤王锐廷王营营
文献传递
防断电保护的硅片清洗机
本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N<Sub>2</Sub>管路，所述N<Sub>2</Sub>管路包括：常开N<Sub>2</Sub>管路和常闭N<Sub>2</Sub>管路，所...
张绍国何金群裴立坤吴仪王好肖
化学液混合装置及方法
本发明公开了一种化学液混合装置及方法，所述化学液混合装置包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一...
何金群刘福生王锐廷裴立坤
化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法
本发明公开了一种化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法，该设备包括：若干化学液存储器、化学液保护装置、以及控制器，化学液保护装置包括：气体输送管路，与化学液存储器连接；化学液输送管路，与化学液存储器连接；化学液分配管路...
何金群裴立坤昝威王锐廷
文献传递
防断电保护的硅片清洗机
本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N<Sub>2</Sub>管路，所述N<Sub>2</Sub>管路包括：常开N<Sub>2</Sub>管路和常闭N<Sub>2</Sub>管路，所...
张绍国何金群裴立坤吴仪王好肖
文献传递
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0