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昝威

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇中文专利

领域

  • 3篇文化科学
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 6篇管路
  • 4篇液位
  • 3篇切换
  • 3篇化学制剂
  • 3篇分析仪
  • 3篇处理系统
  • 2篇滴漏
  • 2篇底板
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇药剂
  • 2篇药液
  • 2篇药液温度
  • 2篇液罐
  • 2篇液位传感器
  • 2篇液位检测
  • 2篇排泄
  • 2篇气压

机构

  • 20篇北京七星华创...

作者

  • 20篇昝威
  • 20篇裴立坤
  • 14篇何金群
  • 6篇吴仪
  • 4篇李曼
  • 2篇李春彦
  • 2篇韩雷刚
  • 2篇张晓红

年份

  • 2篇2013
  • 7篇2012
  • 11篇2011
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体清洗液管理装置及方法
本发明公开了一种半导体清洗液管理装置，包括：储液单元，用于储存清洗液；浓度液位检测单元，用于检测所述储液单元中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元；控制单元，用于根据所述浓度数据及液位数据...
郭训容吴仪裴立坤昝威
液体存储装置
本发明公开了一种液体存储装置，涉及集成电路制造技术领域，该装置包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，其特征在于，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管...
何金群裴立坤吴仪昝威
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化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法
本发明公开了一种化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法，该设备包括：若干化学液存储器、化学液保护装置、以及控制器，化学液保护装置包括：气体输送管路，与化学液存储器连接；化学液输送管路，与化学液存储器连接；化学液分配管路...
何金群裴立坤昝威王锐廷
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反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
本发明为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门...
昝威吴仪张晓红裴立坤
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漏液收集处理设备
本发明公开了一种漏液收集处理设备，该设备包括：底板，所述底板中心向下凹陷，其凹陷部分设置有液体传感器安装孔以及液体滴漏孔，所述液体传感器安装孔内安装有伸入漏液槽内的液体传感器，所述液体传感器与报警控制器相连；漏液槽，固设...
昝威王锐廷裴立坤何金群
风门装置
本实用新型公开了一种风门装置，包括：风门(1)；摆动气缸(4)，其转轴与风门(1)的转轴(2)连接；压差计(7)，其与风门(1)和设备外部连接。本实用新型的风门装置设计简单，效果好，当风门附近与设备外部的气压差超出设定范...
何金群裴立坤昝威
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处理液供给及管路冲洗系统
本发明公开了一种处理液供给及管路冲洗系统，包括化学液供应管路、纯水供应管路和气体供应管路，各个管路之间的连接和工艺模块。本发明的系统采用化学液与纯水独立提供的方式，向工艺模块分别提供化学液与纯水，并具有纯水与气体冲洗功能...
昝威裴立坤王锐廷何金群李曼
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化学制剂处理系统
本实用新型公开了一种化学制剂处理系统，包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本实用新型的系统可以在不需要时间以重新...
裴立坤昝威何金群王锐廷
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液体回流管
本实用新型公开了一种液体回流管，包括：依次连接的气体缓冲罐(7)、连接管(5)和中空管(2)，所述中空管(2)上设有若干进液接头(3)，可使液体顺利排出，不产生液体飞溅，避免对硅片二次污染。
昝威裴立坤何金群王锐廷
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反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
本实用新型为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传...
昝威吴仪张晓红裴立坤
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