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裴立坤

作品数：66 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 66篇中文专利

领域

  • 5篇文化科学
  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 10篇液罐
  • 10篇机械手
  • 10篇储液罐
  • 8篇气动
  • 8篇半导体
  • 8篇补液
  • 7篇硅片
  • 6篇支撑脚
  • 6篇制造装置
  • 6篇模块化
  • 6篇晶圆
  • 6篇管路
  • 5篇药液
  • 5篇气动阀
  • 5篇气源
  • 5篇清洗工艺
  • 5篇自动化
  • 5篇自动化控制
  • 5篇自动化控制技...
  • 5篇控制技术

机构

  • 66篇北京七星华创...

作者

  • 66篇裴立坤
  • 34篇何金群
  • 24篇赵宏宇
  • 20篇昝威
  • 13篇吴仪
  • 12篇王营营
  • 11篇李广义
  • 11篇初国超
  • 8篇徐俊成
  • 6篇张豹
  • 6篇刘福生
  • 5篇张晓红
  • 5篇高浩
  • 4篇李曼
  • 3篇朱攀
  • 3篇张绍国
  • 3篇孙文婷
  • 2篇徐能
  • 2篇李春彦
  • 2篇韩雷刚

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 8篇2015
  • 6篇2014
  • 28篇2013
  • 10篇2012
  • 11篇2011
共 66 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
化学药液储液罐转换连接器
本实用新型提供一种化学药液储液罐转换连接器，所述化学药液储液罐转换连接器设有供液连接口、补气连接口、超压溢流排气孔和回液连接口。本实用新型的化学药液储液罐转换连接器将供液、回液、补气和超压溢流排气等功能连接集成于一体，可...
徐能初国超裴立坤吴仪
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化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法
本发明公开了一种化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法，该设备包括：若干化学液存储器、化学液保护装置、以及控制器，化学液保护装置包括：气体输送管路，与化学液存储器连接；化学液输送管路，与化学液存储器连接；化学液分配管路...
何金群裴立坤昝威王锐廷
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一种模块化硅片清洗系统
本实用新型提供一种模块化硅片清洗系统，其包括：传片区、工艺区和化学药液分配区，所述传片区包括第一机械手、硅片盒、第一主体骨架以及分别设于第一主体骨架上的第一机械手直线运动单元和硅片装载埠；所述工艺区包括第二机械手、第二主...
朱攀贾星杰赵宏宇裴立坤徐俊成
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反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
本发明为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门...
昝威吴仪张晓红裴立坤
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一种多层存储台装置
本实用新型公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板...
李广义王锐廷赵宏宇张豹裴立坤
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螺母衬套
本实用新型公开了一种螺母衬套，包括：螺母衬套壳和螺母衬套板，所述螺母衬套壳上设有用于与连接螺母衬套板的通孔和用于螺母旋转轴穿过的孔，所述螺母衬套板上设有用于与连接螺母衬套壳的挡块和用于螺母凸台部分穿过的孔；所述挡块插设于...
李广义裴立坤赵宏宇王锐廷
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风门装置
本实用新型公开了一种风门装置，包括：风门(1)；摆动气缸(4)，其转轴与风门(1)的转轴(2)连接；压差计(7)，其与风门(1)和设备外部连接。本实用新型的风门装置设计简单，效果好，当风门附近与设备外部的气压差超出设定范...
何金群裴立坤昝威
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化学药液供给系统
本发明涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液；供...
初国超何金群裴立坤王锐廷王营营
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处理液供给及管路冲洗系统
本发明公开了一种处理液供给及管路冲洗系统，包括化学液供应管路、纯水供应管路和气体供应管路，各个管路之间的连接和工艺模块。本发明的系统采用化学液与纯水独立提供的方式，向工艺模块分别提供化学液与纯水，并具有纯水与气体冲洗功能...
昝威裴立坤王锐廷何金群李曼
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化学制剂处理系统
本实用新型公开了一种化学制剂处理系统，包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本实用新型的系统可以在不需要时间以重新...
裴立坤昝威何金群王锐廷
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