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张海伦

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氧化炉
  • 1篇导轨
  • 1篇电传感器
  • 1篇电偶
  • 1篇电器
  • 1篇电热
  • 1篇直线导轨
  • 1篇同步带
  • 1篇热电偶
  • 1篇温度场
  • 1篇洁净度
  • 1篇可编程控制
  • 1篇可编程控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇继电器
  • 1篇固态继电器
  • 1篇光电
  • 1篇光电传感器
  • 1篇硅片
  • 1篇感器

机构

  • 2篇北京七星华创...

作者

  • 2篇张海伦
  • 1篇徐冬
  • 1篇董金卫
  • 1篇张芳
  • 1篇赵星梅
  • 1篇程朝阳

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
300mm立式氧化炉石英舟升降装置
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟升降装置，其特征在于：设有驱动电机(10)、丝杠(3)、直线导轨(4)、传动机构(5)、制动器(1)、外罩(2)和升降臂(7)；驱动电机通过传动机构、丝杠与升降臂连接，升降臂...
赵星梅董金卫张芳张海伦赛义德·赛迪
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300mm立式氧化炉温度场控制系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，设有上位机、可编程控制器PLC、固态继电器组、热电偶组和加热器；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分...
程朝阳徐冬张海伦米奇.阿伽穆罕默德
文献传递
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