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赵星梅

作品数：59 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
发文基金：河北省高等学校科学技术研究指导项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术医药卫生理学动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 58篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇理学

主题

  • 17篇立式
  • 14篇氧化炉
  • 13篇炉体
  • 12篇硅片
  • 11篇晶片
  • 9篇半导体
  • 8篇立式炉
  • 7篇电偶
  • 7篇热电偶
  • 6篇气体
  • 6篇螺钉
  • 5篇钝化
  • 5篇测温
  • 5篇衬底
  • 4篇预热
  • 4篇原子层沉积
  • 4篇三氧化二铝
  • 4篇排气
  • 4篇前驱物
  • 4篇分配网

机构

  • 59篇北京七星华创...
  • 1篇燕山大学

作者

  • 59篇赵星梅
  • 37篇董金卫
  • 28篇钟华
  • 20篇赵燕平
  • 16篇孙少东
  • 9篇李春雷
  • 5篇兰云峰
  • 4篇苏艳波
  • 4篇彭文芳
  • 4篇魏景峰
  • 4篇林松
  • 3篇王喆
  • 3篇孙月峰
  • 2篇常青
  • 2篇王启元
  • 2篇马超
  • 1篇李徐佳
  • 1篇杨占兵
  • 1篇杨绸绸
  • 1篇张海伦

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 7篇2014
  • 5篇2013
  • 21篇2012
  • 3篇2011
  • 9篇2010
  • 9篇2009
共 59 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于半导体热处理设备的立式晶舟
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种用于半导体热处理设备的立式晶舟，包括上下圆盘以及圆盘之间的连接立柱，其中，所述连接立柱为3根或3根以上，所述连接支柱之间固定有多层条状凸台，所述凸台相互平行，且上表面处于同一水平...
赵星梅董金卫魏景峰赵燕平
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半导体晶片热处理设备及方法
本发明公开了一种半导体晶片热处理设备及方法，涉及半导体晶片工艺技术领域，该热处理设备包括：加热器、工艺管、密封板、进气管、排气管、气体采集单元和氧气含量测量单元，工艺管的管口垂直向下，工艺管部分置于加热器中，工艺管的管口...
赵燕平董金卫钟华赵星梅
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300mm立式氧化炉保温桶
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均...
钟华董金卫赵星梅胡星强艾伦·埃马米
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300mm立式氧化炉保温桶
本发明公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地...
钟华董金卫赵星梅胡星强艾伦·埃马米
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300mm立式氧化炉炉体冷却系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体冷却系统，冷却系统由炉体冷却结构和基座冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹、螺栓组、冷却管、连接管组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在氧化炉炉体的内外壁之间...
赵星梅董金卫胡星强艾伦·埃马米
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有三氧化二铝钝化膜的晶体硅
本实用新型提供一种有三氧化二铝钝化膜的晶体硅，所述晶体硅包括硅衬底，以及从硅衬底依次排布的第一层三氧化二铝钝化膜、第二层三氧化二铝钝化膜和SiNx帽层；所述第一层三氧化二铝钝化膜厚度小于第二层三氧化二铝钝化膜厚度。本实用...
李春雷赵星梅兰云峰孙月峰
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热电偶成组安装装置
本发明公开了一种热电偶成组安装装置，涉及热电偶安装技术领域。所述热电偶成组安装装置包括：安装板、挡板、螺母和螺钉；所述安装板的中部设置有第一通孔，在所述第一通孔的两侧对称地设置有两个第二通孔，在所述安装板的两端对称地设置...
孙少东赵燕平董金卫赵星梅
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立式炉体装配工装多点固定装置
本发明公开了一种立式炉体装配工装多点固定装置，所述装配工装包括内载圈以及位于所述内载圈顶部的上载圈，所述固定装置包括：第一连接部，位于所述内载圈径向的内侧，与所述内载圈通过螺钉固定；第二连接部，由所述第一连接部的上端沿所...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
立式热处理设备炉体装配装置
本实用新型公开了一种立式热处理设备炉体装配装置，涉及设备组装技术领域。所述装配装置包括：轮体、结构架、圆台和上载圈；所述轮体设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述装配装置；所述圆台设置在所述结构架的上部；所述上载圈设...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
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一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器
本发明公开了一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器，在本体内设有由二组分别平行设置的若干气体分配管之间按水平交错方向相互连通形成的气体分配网络，各气体分配管之间从网络中心向外侧方向横截面积依次对称缩小，并在各气体分配管的下方...
苏艳波克雷格·伯考赵星梅
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