徐爱东
- 作品数：32 被引量：43H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电气工程更多>>
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法被引量：2
- 2015年
- 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段。
- 张旭辉徐爱东卞玉民
- 关键词：压阻加速度传感器汽车碰撞阻尼比
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本实用新型公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究被引量：8
- 2008年
- 介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。分析了该器件的工作原理,设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2g,分辨率达到1mg,抗冲击能力达到10000g,具备了良好的性能。
- 吕树海杨拥军徐淑静徐爱东徐永青
- 关键词：微电子机械系统加速度传感器
- MEMS热膜式微型流量传感器的研制被引量：9
- 2010年
- 针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5～200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。
- 徐永青吕树海徐爱东徐淑静
- 关键词：MEMS流量传感器加热器温度传感器
- 微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究被引量：4
- 2006年
- 介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计,利用有限元分析软件,计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果,在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路,建立了基于软件的环境温度补偿算法,实现了对温度影响的补偿。经测试,环境温度从-40℃变化到60℃时,倾角仪0°输入的温度稳定性为0.07°,10°输入的温度稳定性为0.02°。
- 王娟徐淑静徐爱东
- 关键词：微机电系统温度补偿
- Parylene涂覆材料及其应用被引量：7
- 2011年
- 介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene)。首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程;接着对其特性进行了较全面阐述,该材料具有良好的物理和机械性能,具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点,并将其综合性能和其他常用涂层性能进行了比较。介绍了Parylene涂层在MEMS领域、电子行业、医疗器械以及文物保护方面的应用,及其在微电子领域的应用前景。
- 韩建栋徐爱东
- 关键词：微电子机械系统气相沉积
- MEMS惯性器件的新进展及应用
- 阐述了惯性技术的发展历史,总结了MEMS惯性器件的最新发展现状,并列举出当前最高技术水平的MEMS惯性器件及其技术指标。同时,概括了MEMS惯性器件的应用领域,特别是在导航领域的应用现状。最后指出,随着新型MEMS惯性器...
- 徐爱东杨拥军卢新艳
- 关键词：微机电系统惯性器件惯性测量单元惯性导航技术
- 文献传递
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 一种空腔无引线塑料扁平封装
- 本发明公开了一种空腔无引线塑料扁平封装，属于半导体封装技术领域。该封装包括载体，载体上固定芯片，载体的周围均布有引脚，引脚之间以及引脚与载体之间填充有塑封体，引脚与芯片之间通过键合线连接，芯片的上方设置有盖板，盖板的周边...
- 徐爱东许鹏杨拥军
- 文献传递
