郑锋
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 电容式加速度传感器结构的计算机仿真被引量：6
- 2002年
- 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,1g加速度下的挠度,以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率,得到了最优的双梁结构,并在试验中得到验证,最终研制出了高水平的电容式加速度传感器。
- 吝海锋杨拥军郑锋
- 关键词：加速度传感器有限元计算机仿真微机械
- 梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)被引量：2
- 2002年
- 提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。
- 何洪涛徐永青杨拥军吕苗郑锋吝海峰
- 关键词：微机电系统
