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吕苗

作品数：49 被引量：61H指数：4
供职机构：西安电子科技大学更多>>
发文基金：国防科技重点实验室基金国家重点实验室开放基金国防基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇期刊文章
  • 14篇专利
  • 11篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 23篇电子电信
  • 7篇电气工程
  • 7篇自动化与计算...
  • 6篇机械工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 12篇开关
  • 10篇MEMS
  • 9篇微机械
  • 7篇硅
  • 6篇微电子
  • 6篇微电子机械
  • 5篇微机械开关
  • 5篇机械开关
  • 5篇加速度
  • 5篇加速度计
  • 5篇MEMS开关
  • 4篇体硅
  • 4篇微电子机械系...
  • 4篇滤波器
  • 4篇可变电容
  • 4篇刻蚀
  • 4篇键合
  • 4篇干法
  • 3篇带通
  • 3篇带通滤波

机构

  • 24篇中国电子科技...
  • 19篇河北半导体研...
  • 12篇西安电子科技...
  • 9篇河北工业大学
  • 8篇清华大学
  • 2篇河北大学
  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 49篇吕苗
  • 19篇赵正平
  • 10篇胡小东
  • 6篇杨瑞霞
  • 5篇邹学锋
  • 5篇郭荣辉
  • 5篇顾洪明
  • 4篇樊芳芳
  • 4篇李丽
  • 4篇鄢泽洪
  • 4篇刘玉贵
  • 4篇张志国
  • 4篇张天龄
  • 4篇胡小东
  • 4篇何洪涛
  • 3篇杨拥军
  • 3篇高葆新
  • 3篇罗蓉
  • 3篇武一宾
  • 3篇徐爱东

传媒

  • 9篇微纳电子技术
  • 4篇半导体技术
  • 4篇Journa...
  • 3篇中国微米、纳...
  • 2篇中国微米/纳...
  • 2篇中国微米纳米...
  • 1篇物理学报
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇第十四届全国...
  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2007
  • 5篇2006
  • 11篇2005
  • 8篇2004
  • 9篇2003
  • 6篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1998
共 49 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
射频微机械移相器被引量：3
2004年
　 MEMS 技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力。利用 RF　MEMS　 开关制造的 RF　MEMS 移相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此成为研究的热点。本文对国际上 R F 　 M E M S的研究和发展进行了比较全面的综述,并介绍了 DMTL 移相器,该移相器在 DC￣30GHz 范围内具有较好的线性度,在20GHz 时相移为0°/11.6°　/32.6°/48.5°,反射损失好于-11dB,插损小于 -1.8dB。最后分析了各种移相器的特点和设计、制造的难点,对 MEMS　 移相器的发展进行了展望。
娄建忠赵正平杨瑞霞吕苗胡小东
关键词：移相器插损MEMS宽带线性度带宽
水银式微机械惯性开关
本实用新型公开了一种水银式微机械惯性开关,涉及传感器领域中的一种开关器件。它由底顶晶片、中间上下晶片、水银腔体、空腔体、沟道、水银珠、电极等部件组成。它采用的原理是该器件承受加速度时,当达到一定阀值,水银腔体中水银珠通过...
吕苗赵正平邹学锋
文献传递
一种平面多级功率分配器
一种平面多级功率分配器，包括若干条由金属带线和金属板构成的射频传输线；所述的金属带线包括一个总输入端口以及围绕总输入端口设置的K层圆环带线，总输入端口与最内层圆环带线以及各层圆环带线之间通过Y条连接带线连接，最外层圆环带...
樊芳芳吕苗鄢泽洪张天龄李延平
文献传递
自适应触点的微机械继电器
本实用新型公开了一种自适应触点的微机械继电器，它涉及半导体器件领域中硅继电器器件。它由基板、驱动电极、接触电极、单晶硅簧片、绝缘层、自适应触点等部件构成。它采用驱动电极上施加电压时，静电力驱动单晶硅簧片和其上的自适应触点...
吕苗胡小东赵正平
文献传递
一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制被引量：2
2006年
利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的LCVCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38·462.MEMSVCO的测试结果表明,偏离2·007GHz的载波频率100kHz处的单边带相位噪声为-107·5dBc/Hz,输出功率为-13·67dBm.对微机械可变电容引起的机械热噪声以及减小空气压膜阻尼来降低相位噪声的方法进行了讨论,提出了一种优化阻尼孔数目的方法.
李丽赵正平张志国郭文胜吕苗杨瑞霞
关键词：MEMS可变电容Q值压控振荡器相位噪声
基于硅硅键合的全干法深刻蚀微机械加工方法
本发明公开了一种基于硅硅键合的全干法深刻蚀微机械加工方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它将低阻硅片和带氧化绝缘层的衬底硅片键合为整体，在低阻硅片上制备微机械结构。它采用硅-硅键合、双...
胡小东吕苗
文献传递
采用薄片溶解工艺制造微机械惯性仪表的实验研究被引量：10
1998年
介绍了一种用以制造微机械惯性仪表（包括微陀螺和微加速度计）的微机械体加工方法——体硅溶解薄片法。它包括硅片工艺、玻璃工艺和组合片工艺。整个工艺过程只需单面处理，三次掩膜。硅片工艺包括刻凹槽，深扩散和干法刻蚀三次工艺过程。玻璃上用剥离的方法形成引线和电极的金属层。然后将硅片和玻璃倒接，进行静电键合。最后腐蚀掉硅片背面未掺杂的体硅，从而分离出结构。本文结合微陀螺的具体结构，详细阐述了每一工艺过程的要点，并着重介绍了硅上刻高深宽比槽的技术。该方法形成的结构与衬底不易粘附，成品率高，制造成本低，可形成的结构图形多种多样。
姚雅红高钟毓吕苗赵永军吕苗
关键词：加速度计
采用V型槽介质隔离工艺的体硅加工方法
本发明公开了一种采用V型槽介质隔离技术的体硅加工方法，涉及微电子机械系统领域中的一种微电子机械系统器件结构的制造。它采用电感耦合干法刻蚀工艺在硅片上制造出V型槽，采用介质淀积二氧化硅填充此V型槽，隔离槽深度可以达到10～...
吕苗何洪涛胡小东
文献传递
SDB技术在MEMS加速度计中的应用
本文介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.
吕树海罗蓉杨拥军吕苗
关键词：MEMS加速度计
文献传递
一种基于间隙波导技术的带通滤波器
一种基于间隙波导技术的带通滤波器，包括表面开槽的金属地板，以及配合金属地板组成封闭腔体的金属盖板；所述的封闭腔体内设置介质基板，介质基板上具有周期性交错排布的耦合结构，以及被耦合结构隔开，用于组合金属盖板和金属地板形成谐...
樊芳芳吕苗王金辉鄢泽洪张天龄
文献传递
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