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边柯柯

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇图像
  • 2篇晶圆
  • 2篇精度等级
  • 2篇滑移
  • 2篇滑移量
  • 2篇机械手
  • 2篇几何光学
  • 2篇光学

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇付翱
  • 2篇孙勇
  • 2篇付成龙
  • 2篇朱煜
  • 2篇边柯柯
  • 2篇高雨浩
  • 2篇陈恳
  • 2篇伍三忠
  • 2篇杨开明
  • 2篇周于

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
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