冯君刚
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 低压反应离子镀方法制备ITO透明导电膜被引量：2
- 2005年
- 溅射镀膜方法是制备ITO透明导电膜最常用也是实验研究最多的方法。实验使用一种不同于溅射方法的另一种制备工艺—低压反应离子镀方法—制备ITO透明导电膜。实验对不同沉积速率和不同氧气流量对ITO透明导电膜的方块电阻以及光学透过率的影响进行了详细地分析,并综合比较得到了当沉积速率为0.5nm/s,氧气流量为24cm3/min时,在波长为550nm处,方块电阻为20Ω,λ=550nm透过率为90.8%的优质ITO透明导电膜。
- 徐颖高劲松王笑夷陈红冯君刚
- 关键词：透过率方块电阻
- 反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制被引量：2
- 2004年
- 介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.
- 冯君刚王笑夷徐颖高劲松
- 关键词：离子辅助沉积激光阈值光学薄膜
- 反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制
- 本文介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透...
- 冯君刚王笑夷徐颖高劲松
- 关键词：离子辅助沉积激光阈值光学薄膜
- 文献传递
- 激光用高质量减反射膜的制备被引量：1
- 2005年
- 激光用减反射膜要求镀膜后的基片可以在激光的输出波长处剩余反射率低于0.1%,从这一要求出发,优化设计了两种不同的膜系,并根据膜系的需求采用了两种不同的监控方法,结果发现,使用光学膜厚控制膜层厚度的精度高,误差小,可以在一定程度上提高成品率.使用光学膜厚控制手段成功地制备出用于激光系统的单点632.8nm处剩余反射率低于0.05%,表面形貌均匀且无较大起伏的优质减反射膜.
- 徐颖高劲松王笑夷陈红冯君刚
- 关键词：光学薄膜减反射膜
- 反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制
- 本文介绍了CO2机动激光武器系统实现跟瞄与发射共孔径的关键器件—反可见、中红外透射10.6μm高能激光分色镜的研制过程，通过对光学系统和分色镜实际性能指标和制作难度的分析，确定了可行性方案为反射可见、中红外波段透射10....
- 冯君刚
- 关键词：高能激光分色镜光学薄膜
- 文献传递
