2024年11月15日
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四川上特科技有限公司
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广东成利泰科...
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四川矽芯微科...
1篇
广东气派科技...
作者
5篇
赵建明
1篇
陈勇
1篇
陈龙
1篇
刘继芝
1篇
曾德贵
1篇
李朝晖
传媒
1篇
微电子学
1篇
电子设计工程
年份
16篇
2024
20篇
2023
28篇
2022
20篇
2021
1篇
2020
6篇
2019
2篇
2018
6篇
2017
5篇
2016
2篇
2015
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106
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一种晶圆电泳用放置架
一种晶圆电泳用放置架,包括:支撑架、承载架。支撑架长度方向两端设有多个支撑杆,承载架穿设于支撑杆上,承载架沿其长度方向设有多个承载框,承载框内侧沿其长度方向设有多个卡槽,用于承载晶圆。支撑杆上设有挡环,挡环位于承载架上方...
冯永
李健儿
胡仲波
胡博
蒋红全
周建余
一种半导体芯片裂片机
本发明公开了一种半导体芯片裂片机,包括机体和滑动连接于该机体的龙门架;以及轧辊,用于辊压芯片;升降辊架,配置于该龙门架、连接于该轧辊;还包括一对调节装置,配置于该龙门架与该升降辊架之间、用于调整该轧辊的水平角度;该对调节...
李健儿
冯永
胡仲波
敬春云
宋勇
王一超
李慕轩
文献传递
一种冷光源曝光机
一种冷光源曝光机,包括支架、载片台、曝光机构和竖向调节机构,载片台水平固定于支架的下端,竖向调节机构用于调节曝光机构的高度,曝光机构包括紫外灯源、多面镜组、反光镜组、机械快门和罩壳,多面镜组和反光镜组均置于罩壳内,多面镜...
李健儿
冯永
胡仲波
敬春云
宋勇
王一超
李慕轩
文献传递
一种晶圆承载框及晶圆分片装置
本发明提供一种晶圆承载框及晶圆分片装置,属于处理半导体的设备领域,晶圆承载框,包括:从上至下呈间隔设置且相互平行的限位框、筛板及承载板。限位框呈矩形框架结构,其内部用于放置烧结后呈柱体状态的晶圆。筛板阵列开设有多个条形孔...
周建余
冯艾诚
李健儿
冯永
胡仲波
一种用于晶圆打磨的装置
一种用于晶圆打磨的装置,包括:独立安装的打磨机构以及驱动机构。打磨机构包括矩形框,矩形框底部设有下传动轴,下传动轴设有的支撑圆盘,矩形框顶部设有上传动轴,上传动轴滑动设有压紧圆盘,压紧圆盘转动设有连接盘,上传动轴与连接盘...
李健儿
冯永
张正
胡仲波
鲜贵容
文献传递
一种晶圆揭膜装置
本申请提供一种晶圆揭膜装置,包括转盘,沿其外周的一面依次间隔设置的上料机构、揭膜机构、取料机构,沿转盘外周的另一面依次设有三个移动部,上料机构、揭膜机构、取料机构依次对应设于一个移动部上;转盘绕自身轴线转动设置其上设有定...
李健儿
冯艾诚
冯永
颜英慧
胡仲波
半导体功率器件斜坡场板的制作方法
本发明公开了一种半导体功率器件斜坡场板的制作方法,首先,对应斜坡区域设计两块灰度光刻版,然后在每块光刻版灰度区域,设置尺寸小于光刻分辨率的均匀栅格,并在各个栅格对铬层开孔制得灰度光刻版;接着,以这两块灰度光刻版为掩膜对光...
李健儿
冯艾城
李学良
冯永
胡仲波
唐毅
刘继芝
鲜贵容
文献传递
一种晶圆片玻璃浆填充装置
一种晶圆片玻璃浆填充装置,包括:传送带以及沿传送带依次设置的上料机构、滴液机构、涂抹机构、烘干部、下料机构;上料机构和下料机构均包括两个承载组件,用于承载晶圆片,上料机构还包括第一推送组件,用于将晶圆片推送至传送带上,滴...
蒋红全
胡仲波
冯永
李健儿
周建余
一种硅片清洗系统
本发明涉及硅片处理领域,公开了一种硅片清洗系统,包括依次连接的上料机构和清洗机构,上料机构包括至少一条平料传送带,平料传送带终端设有立片导槽,立片导槽终端竖直向下,立片导槽下方设有竖料传送带,竖料传送带沿传送方向设有至少...
李健儿
冯永
胡仲波
敬春云
宋勇
王一超
李慕轩
文献传递
一种晶圆输送盘及输送装置
一种晶圆输送盘及输送装置,属于晶圆生产用输送装置技术领域,晶圆输送盘包括:承载板及压板。承载板顶面具有沉孔,承载板的前后端贯穿开设有矩形孔,矩形孔与沉孔连通,矩形孔的底面与沉孔的底面齐平,承载板的底部沿前后方向贯穿开设有...
胡仲波
冯永
李健儿
蒋红全
周建余
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