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国家重点基础研究发展计划(G2000036504)

作品数：3 被引量：16H指数：3
相关作者：任黎明陈宝钦谭震宇顾文琪薛丽君更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所山东大学中国科学院微电子中心更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
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领域

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主题

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地区

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共 18 条 记 录，以下是 1-10
任黎明
供职机构：北京大学
研究主题：石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭震宇
供职机构：山东大学电气工程学院
研究主题：低能电子 蒙特卡罗法 MONTE 散射 CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤跃科
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛丽君
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘珠明
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：热反射 电子束曝光机 热光伏电池 光学 微光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡勇
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：微光刻技术 光学 电子束直写 电子束曝光系统 数据处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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