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国家重点基础研究发展计划(G2000036504)

作品数：3 被引量：16H指数：3
相关作者：任黎明陈宝钦谭震宇顾文琪薛丽君更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所山东大学中国科学院微电子中心更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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山东大学
研究主题：影响因素 商业银行 数值模拟 实证研究 性能研究
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山东大学电气工程学院
研究主题：电力系统 配电网 继电保护 输电线路 变压器
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中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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