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中国科学院科研装备研制项目(YZ200940)
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夏洋
李超波
秦威
李勇滔
许晓平
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中国科学院微电子研究所
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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许晓平
供职机构:昆明理工大学信息工程与自动化学院
研究主题:光纤BRAGG光栅 光纤BRAGG 光栅 油浸式变压器 有限元分析
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
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秦威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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赵章琰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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刘邦武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
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李勇涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:INP SI 键合技术 键合
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