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中国科学院科研装备研制项目(YZ200940)
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夏洋
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秦威
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中国科学院科研装备研制项目
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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昆明理工大学信息工程与自动化学院
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