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张伟才
作品数:
49
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司
杨静
中国电子科技集团公司
韩焕鹏
中国电子科技集团公司
赵权
中国电子科技集团公司
索开南
中国电子科技集团公司
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:晶片 锗 单晶片 削片 损伤层
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韩焕鹏
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶炉 晶片 单晶片
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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索开南
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 少子寿命 硅 区熔硅单晶 SI单晶
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庞炳远
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 硅单晶生长 硅
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 晶片 清洗工艺 抛光液
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于妍
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:酸腐蚀 翘曲 单晶片 翘曲度 冰乙酸
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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陈建跃
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅片 厚层 硅单晶片 滑移线 砂轮
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