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刘宇峰

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：广东昭信半导体装备制造有限公司更多>>
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朱海科
供职机构：华中科技大学
研究主题：燕尾槽 压缩率 有限元 VENT 管路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
甘志银
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题：真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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