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朱海科

作品数：2 被引量：7H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压缩率
  • 1篇燕尾槽
  • 1篇有限元
  • 1篇气路系统
  • 1篇金属有机物
  • 1篇管路
  • 1篇VENT
  • 1篇N-
  • 1篇RU

机构

  • 2篇华中科技大学
  • 1篇广东昭信半导...

作者

  • 2篇朱海科
  • 1篇甘志银
  • 1篇刘宇峰

传媒

  • 1篇机电工程

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金属有机物化学气相沉积设备多腔体气体输运技术的研究
MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）技术是生长GaN材料的关键工艺，目前国内的MOCVD技术研究还处于初级阶段，尚未有生产厂家能够提供量产型的MOCVD设备，所需的...
朱海科
关键词：气路系统
真空腔体O形圈密封中燕尾槽使用的研究被引量：6
2011年
为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型,并进行了分析和计算,最后得到了具有较高工程指导价值的结论。研究结果表明,在O形圈密封中,当密封槽采用燕尾槽时,O形圈的压缩率取20%左右,真空腔体的密封性能良好。
朱海科甘志银刘宇峰
关键词：燕尾槽有限元压缩率
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