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范红娜
作品数:
5
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
杨静
中国电子科技集团公司第四十六研...
王雄龙
中国电子科技集团公司第四十六研...
田原
中国电子科技集团公司第四十六研...
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学腐蚀 MEMS 研磨 测厚 硅
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王雄龙
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:研磨 粗糙度 MEMS 锗 厚度变化
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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韩焕鹏
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶炉 晶片 单晶片
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陈晨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 锗单晶 英寸 硅-硅直接键合
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王云彪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
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郭亚坤
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 稳定性 平坦度
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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