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杨一博
作品数:
6
被引量:16
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王春洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
汪劲松
清华大学机械工程学院精密仪器与...
段广洪
清华大学
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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王春洪
供职机构:清华大学
研究主题:PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 鲁棒性
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供职机构
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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曹家勇
供职机构:上海应用技术学院机械工程学院
研究主题:开关磁阻电动机 磁浮 工件台 平面电动机 平面电机
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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张明超
供职机构:清华大学
研究主题:穿戴 石墨烯 应变传感器 蚕丝 电子器件
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蔡田
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 磁悬浮 充磁 光刻机 工位
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