2024年11月19日
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汤飞龙
作品数:
15
被引量:24
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
理学
机械工程
电子电信
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合作作者
李中梁
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院大学
曹绍谦
中国科学院大学
步扬
中国科学院大学
步鹏
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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所获资助
研究领域
李中梁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
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曹绍谦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:斯托克斯参量 偏振 光场 全光 偏振态
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供职机构
所获资助
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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步鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:析图 正弦相位调制 层析成像方法 光场 全光
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张敏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 光阑 像差 干涉仪 面形
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范李立
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
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李思坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
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王瑄
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:扫频 医用光学 成像系统 图像 色散补偿
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