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冯金花

作品数：34 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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地区

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何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
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赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜婧
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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