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李艳丽

作品数：38 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 34篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 5篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇经济管理
  • 1篇医药卫生

主题

  • 21篇光刻
  • 10篇投影光刻
  • 7篇工件台
  • 7篇光刻机
  • 6篇叠栅条纹
  • 6篇条纹
  • 6篇图像
  • 5篇调焦
  • 5篇掩模
  • 5篇无掩模
  • 5篇光学
  • 4篇电机
  • 4篇圆孔
  • 4篇伺服
  • 4篇伺服控制
  • 4篇伺服控制系统
  • 4篇投影光刻机
  • 4篇透光
  • 4篇图像处理
  • 4篇控制系统

机构

  • 38篇中国科学院

作者

  • 38篇李艳丽
  • 25篇胡松
  • 22篇严伟
  • 18篇陈铭勇
  • 13篇王建
  • 12篇杨勇
  • 11篇冯金花
  • 8篇何渝
  • 4篇唐燕
  • 4篇赵立新
  • 3篇邢薇
  • 3篇马平
  • 2篇陈磊
  • 2篇高洪涛
  • 2篇徐文祥
  • 2篇邸成良
  • 1篇乔俊仙
  • 1篇周绍林
  • 1篇胡陶
  • 1篇罗正全

传媒

  • 2篇光学学报
  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 4篇2024
  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 5篇2014
  • 5篇2013
  • 5篇2012
  • 10篇2011
  • 1篇2009
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种ROE性能检测方法
本发明提出一种ROE性能检测方法。首先建立测试光路，分别记录加与不加ROE折射镜情况下的紫外相机图像。通过图像质心算法和图像能量算法计算可得ROE折射镜各处的Y向平衡性。基于图像傅里叶算法以及相关参数拟合可得ROE折射镜...
李昱阳孙海峰李艳丽周吉杨瑞琳龚健文胡松
一种长焦深光子筛
本发明公开了一种长焦深光子筛，实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布原则为r<Sub>n</Sub><Sup...
严伟何渝李艳丽唐燕高洪涛胡松
文献传递
一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
本发明是一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统，检焦标记和投影成像系统位于照明系统和多次反射棱镜之间，被检测面位于多次反射棱镜和反射镜之间，检焦标记放大系统位于反射镜和探测器件之间；投影成像系统与照明系统匹配为照明检焦标记...
陈铭勇胡松李艳丽
文献传递
一种高精度调焦调平测量系统
本发明提出了一种高精度调焦调平测量系统，该测量系统采用四通道检测的方式，通过测得基片上的四点高度，确定当前曝光场内垂直方向的离焦量和水平方向的倾斜度，从而实现基片的调焦调平。基片高度的检测是基于光强调制的双光路叠栅条纹检...
李艳丽严伟冯金花王建
文献传递
一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛
本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式r<Sub>mn</Sub><Su...
严伟何渝李艳丽唐燕赵立新胡松
文献传递
一种用于接近接触式光刻机的智能套刻控制方法
本发明提出一种用于接近接触式光刻机的智能套刻控制方法，包括：使用机械臂在接近接触式光刻机中放置硅片；获取清晰的左右对准相机中的掩膜与硅片对准标记图像；采集左右对准相机中的掩膜与硅片对准标记图像，对掩膜与硅片对准标记图像进...
李昱阳李艳丽杨瑞琳孙海峰龚健文胡松
一种投影光刻调焦的图像处理方法
本发明提供一种投影光刻调焦的图像处理方法，所述的方法首先根据列向求和投影的波峰，初步求得中线位置，进行粗调焦。采用波峰识别方法和图像细分算法对目标线条进行精确定位。进而求得目标线条与指定最佳焦面位置的离焦量，控制工件台运...
李艳丽严伟陈铭勇杨勇王建
文献传递
一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法
本发明提出了一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法，该方法首先通过边缘提取、边缘连接、区域填充确定出样点的真实区域，再运用扫描法划分网格，自动获得样点行、列数及总数。最后将确定出的每个网格内的样点区域位置与原图对应，自动...
胡松严伟李艳丽
文献传递
一种光闸莫尔条纹焦面检测方法
本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，用于投影光刻机非接触快速焦面检测，该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成，该系统基于三角测量的基本原...
严伟李艳丽杨勇王建陈铭勇邸成良
一种可调光束能量衰减装置
本发明是一种光束能量可调衰减装置，放置于投影光刻机中光源和照明系统之间，第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置，使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中。第一平板玻璃与第二平板玻璃...
李艳丽胡松严伟王建邢薇杨勇陈铭勇
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