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张敏
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25
被引量:91
H指数:6
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
王向朝
中国科学院大学
唐锋
中国科学院大学
戴凤钊
中国科学院大学
韩双丽
中国科学院长春光学精密机械与物...
金龙旭
中国科学院长春光学精密机械与物...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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戴凤钊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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金龙旭
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:空间相机 FPGA 图像 面阵CCD 大视场
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韩双丽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:空间相机 大视场 FPGA TDICCD相机 遥感相机
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曹绍谦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:斯托克斯参量 偏振 光场 全光 偏振态
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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李国宁
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面阵CCD 空间相机 成像系统 大视场 图像
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