戴凤钊
- 作品数：36 被引量：63H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法被引量：7
- 2019年
- 针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。
- 孟泽江李思坤王向朝王向朝戴凤钊步扬
- 关键词：成像系统光刻误差分析
- 波前传感器及波前测量方法
- 一种波前传感器及波前测量方法，其特征在于，该波前传感器包括二维随机编码混合光栅、探测器，二维随机编码混合光栅由随机编码振幅光栅和棋盘式位相光栅组成，优化了随机编码振幅光栅的像素尺寸，降低了加工难度，同时不影响波前测量精度...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊
- 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法被引量：3
- 2019年
- 提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一种新的偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而求解偏振像差的各项泡利泽尼克系数。从理论上揭示了各偏振像差项在成像中的耦合规律,从而在测量原理上解决各项耦合问题,可同时测量偏振像差所有泡利项的前37阶泽尼克系数。在典型的深紫外光刻仿真条件下对所提方法进行随机偏振像差测试,其中3组泡利项的实部和虚部共6×37阶泡利泽尼克系数误差的标准差均在10^-3量级。测试结果验证了本方法的正确性和可行性。
- 孟泽江李思坤王向朝王向朝杨朝兴步扬
- 关键词：光刻主成分分析
- 投影光刻机像质原位检测与控制技术及其重要应用
- 王向朝段立峰王帆唐锋步扬马明英何乐李中梁戴凤钊孙刚李思坤
- 该项目提出了一种新的光刻机像质参数热漂移原位检测技术(TDFM)。详细分析了该技术利用镜像测试标记检测投影物镜最佳焦面热漂移与放大倍率热漂移的基本原理。实验结果表明TDFM技术可同时实现最佳焦面热漂移(FFT)与放大倍率...
- 关键词：
- 关键词：投影光刻机
- 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法
- 一种光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法。该方法使用±1级衍射光分别与0级衍射光剪切干涉，对差分信息进行波前重建以及翻转处理，采用数值计算得到影响光栅剪切干涉仪波像差检测精度的主要系统误差项的相关参数：不同级次衍...
- 李杰王向朝唐锋吴飞斌戴凤钊余程
- 光栅剪切波像差检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊张敏
- 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法
- 本发明公开了一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法，通过将晶圆曝光场进行编号，以晶圆曝光场的曝光次序为粒子，以曝光路径总长度为目标函数，通过更新粒子的曝光次序来对曝光路径总长度进行优化。本发明能有效缩短晶圆曝光流程...
- 郑亚忠戴凤钊步扬王向朝孟泽江彭常哲
- 基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
- 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法，测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机，测量时将待测光学元件置于准直物镜之后，并使光轴穿过待侧面的中心，测量步骤如下：①获取x方向和...
- 戴凤钊唐锋王向朝张敏
- 基于环形条纹Zernike多项式的剪切干涉波前重建
- <正>1.引言根据国际半导体技术蓝图ITRS 2013,极紫外光刻(EUVL)是10nm以下节点集成电路制造的主要备选光刻技术。EUVL光学成像系统波像差应控制在1nm以下,相应的波像差测量技术精度应高于0.3nm。横向...
- 戴凤钊王向朝唐锋
- 关键词：多项式ZERNIKE剪切干涉
- 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊张敏
