戴凤钊
- 作品数：36 被引量：59H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法被引量：7
- 2019年
- 针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。
- 孟泽江李思坤王向朝王向朝戴凤钊步扬
- 关键词：成像系统光刻误差分析
- 波前传感器及波前测量方法
- 一种波前传感器及波前测量方法，其特征在于，该波前传感器包括二维随机编码混合光栅、探测器，二维随机编码混合光栅由随机编码振幅光栅和棋盘式位相光栅组成，优化了随机编码振幅光栅的像素尺寸，降低了加工难度，同时不影响波前测量精度...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊
- 文献传递
- 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法
- 一种光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法。该方法使用±1级衍射光分别与0级衍射光剪切干涉，对差分信息进行波前重建以及翻转处理，采用数值计算得到影响光栅剪切干涉仪波像差检测精度的主要系统误差项的相关参数：不同级次衍...
- 李杰王向朝唐锋吴飞斌戴凤钊余程
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- 基于环形条纹Zernike多项式的剪切干涉波前重建
- <正>1.引言根据国际半导体技术蓝图ITRS 2013,极紫外光刻(EUVL)是10nm以下节点集成电路制造的主要备选光刻技术。EUVL光学成像系统波像差应控制在1nm以下,相应的波像差测量技术精度应高于0.3nm。横向...
- 戴凤钊王向朝唐锋
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- 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊张敏
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- 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析被引量：20
- 2013年
- 基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区域的相位提取误差最大,且决定了全局误差的大小。窗函数对边缘误差改善不明显,优化滤波器设计对边缘误差有一定改善。干涉图延拓能有效减小边缘误差,对于连续光学面检测而言是提高二维FFT法相位提取精度的最佳方法。干涉图载波频率为干涉图空间分辨率的1/13～1/3时均能得到较准确的测量结果,相位提取误差峰谷值(PV)可优于λ/20;载波频率越高,细节分辨能力越强。
- 张敏唐锋王向朝戴凤钊
- 关键词：干涉图
- 基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
- 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法，测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机，测量时将待测光学元件置于准直物镜之后，并使光轴穿过待侧面的中心，测量步骤如下：①获取x方向和...
- 戴凤钊唐锋王向朝张敏
- 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法
- 本发明公开了一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法，通过将晶圆曝光场进行编号，以晶圆曝光场的曝光次序为粒子，以曝光路径总长度为目标函数，通过更新粒子的曝光次序来对曝光路径总长度进行优化。本发明能有效缩短晶圆曝光流程...
- 郑亚忠戴凤钊步扬王向朝孟泽江彭常哲
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- 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法
- 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法，在x和y方向分别进行两次测量，第二次测量采用的剪切量比第一次测量采用的剪切量大1，即若x和y方向第一次测量的剪切量分别为S<Sub>x</Sub>和S<Sub>y</S...
- 戴凤钊王向朝
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- 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法
- 本发明提供一种光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法，在待测投影物镜的物面和像面分别放置一个空间光调制器，通过计算机编程分别将物面空间光调制器和像面空间光调制器设置为含多个一维光栅的物面光栅组和含多个二维光栅...
- 戴凤钊王向朝唐锋郑亚忠
- 文献传递
