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朱江平

作品数：30 被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>

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共 21 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于军胜
供职机构：电子科技大学
研究主题：基板 有机电致发光器件 柔性衬底 钙钛矿 光电子器件
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刘旗
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：工件台 移植性 掩模 大行程 跟踪误差
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李光
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：参考光 投影物镜 测量系统 测量方法 光波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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