陈铭勇
- 作品数：55 被引量：46H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
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- 一种光刻式的3D打印机
- 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形...
- 马驰飞王楠陈昌龙高洪涛陈铭勇严伟胡松
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- 数字灰度光刻成像物镜设计
- 随着微机电系统(MEMS)、微光机电系统(MOEMS)等具有表面浮雕微结构的微纳器件的发展，寻求制作工艺简单、工作效率高、成本低、能产生连续三维面形的新的加工技术是现在微纳加工技术的发展方向之一。
现有的表面浮...
- 陈铭勇
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- 一种适用于无掩模光刻机的对准方法
- 本发明提出了一种适用于无掩模光刻机的对准方法。光电耦合成像器件通过工件台的平移来采集硅片上的两个及以上的对准标记，应用图像处理方法确定采集选择的对准标记相对载物台坐标的位置，由于采集到的标记图像相对硅片坐标的位置是已知的...
- 李艳丽胡松陈铭勇冯金花
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- 一种可变矩形窗调节机构
- 本发明是一种可变矩形窗调节机构，是采用四组位置探测器和驱动器构成伺服控制系统，分别驱动四块挡板，由四块挡板不同位置，形成大小任意变化的矩形窗。本发明提出一种闭合环形互联结构，即四块挡板两两互相连接，任意两挡板间可以相对移...
- 严伟胡松李艳丽杨勇王建陈铭勇
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- 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜
- 本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内光学加工所造成的分辨...
- 刘俊伯赵立新陈铭勇朱咸昌胡松何渝陈昌龙
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- 一种红外成像光学读出系统的照明装置
- 一种红外成像光学读出系统的照明装置包括光源(1)、采集同步模块(2)、偏振片(3)、光学镜头组(4)；所述采集同步模块(2)为一可控快门模块，由控制器和快门执行模块组成，控制器通过读出系统整机的中控系统控制，使快门执行模...
- 王建赵立新陈铭勇胡松
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- 一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
- 本发明是一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统，检焦标记和投影成像系统位于照明系统和多次反射棱镜之间，被检测面位于多次反射棱镜和反射镜之间，检焦标记放大系统位于反射镜和探测器件之间；投影成像系统与照明系统匹配为照明检焦标记...
- 陈铭勇胡松李艳丽
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- 一种数字光栅无掩模光刻对准方法被引量：1
- 2012年
- 针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。
- 唐路路胡松徐峰唐燕陈铭勇朱江平
- 关键词：光栅无掩模光刻
- 用DMD灰度曝光法产生连续面形微结构被引量：4
- 2006年
- 利用空间光调制器光强的精确调制作用,把数字微反射镜阵列(DMD)作为灰度图形发生器,经一次曝光及优化显影等后处理过程,可制作出具有连续面形的微光学元件。用上述方法在实验上获得了微透镜阵列,并有较好的连续面形,符合预期效果。研究表明,该方法不仅可快速地实现连续面形微结构的加工,而且大大简化了制作工艺,有助于降低微光学元件的加工成本,适合于微结构的研究性制作或小批量生产,有广泛应用潜力。
- 陈铭勇郭小伟马延琴杜惊雷
- 关键词：无掩模光刻微透镜阵列
